[发明专利]磨削和抛光机床及用该机床磨削和抛光圆盘的方法和设备

权利要求书

1.磨削或抛光机床包括一个刚性平台，工作台和砂轮安装在该平台上，其中，砂轮装在部件上，该部件通过支板铰链挠性件安装在平台上，挠性件允许该部件在通常平行于砂轮前移的方向上作有限的运动，以便对装在工作台上的工件进行磨削或抛光，挠性件通常禁止该部件在所有其它方向上的运动。

2.按权利要求1的机床，所述机床具有两个部件(42，48)，其中，两个砂轮装在平台上，在所述两个部件的每一个上装有一个砂轮，每一部件通过上述挠性件安装在平台上。

3.按权利要求1或2的机床，其中，选择将该部件装在机床底座上的挠性件的位置，以减少由于使用挠性件安装该部件造成的机床内扭转振动的影响，挠性件安装处通常位于机床的中央，在机床中心线的两侧并靠近机床中心线。

4.按权利要求2的机床，其中，安装该部件的挠性件本身装在实体件上，该实体件构成机床底座的一部分，以使得该部件或架的任何运动都是高阻尼的。

5.按权利要求4的机床，其中，实体件包含聚合物混凝土。

6.按权利要求1的机床，其中，所述机床的空腔中，至少部分充填聚合物混凝土以便为提供阻尼/加固材料的最小质量和分布提高机床零部件的自然振动频率。

7.按权利要求1的机床，其中，挠性件包括消除内应力的钢连接件，其一方面直接连接在平台上，另一面直接连接在主轴支承部件上。

8.按权利要求1的机床，其中，该部件装在机床底座的水平延伸部分上，朝向机床总体部分的一端，装在水平延伸部分和机床其余部分之间的刚性支架提高了水平延伸部分的刚度。

9.按权利要求8的机床，其中，该部件相对于底座中心线对称安装并间隔开，该支架在两部件之间沿机床中心线延伸。

10.按权利要求8或9中的机床，其中，该支架由三件构成并螺栓固定在一起从而产生干摩擦阻尼。

11.按权利要求1的机床，其中，平台本身通过减振装置装在固定的机床底座上。

12.按权利要求11中的机床，其中，机床底座是单件构件，或有两部分构成件，该两部分间有减振装置。

13.按权利要求12中的机床，其中，两部分构件的一个部分装在另一部分之上，在两部分间有隔振装置，两部分的上面的部分是金属构件，其包含或至少部分由聚合物混凝土形成，以给在驱动主轴的凸轮、该部件、工件主轴导轨的固定件间提供一个直接的、高阻尼的联接构件。

14.按权利要求1的机床，其中，带该部件的刀具主轴和工作主轴装在机床底座的中央位置，从而减少了机床底座扭转振动对刀具稳定性的影响。

15.磨削或抛光机床，具有装在部件上的工作台主轴装置，刀具主轴装置，该部件允许沿实现刀具和工件接触的一个方向上作有限的相对运动，并具有凸轮驱动装置，以便每一部件运动并使每个刀具主轴向前靠近工件主轴或后退远离工作台主轴。

16.按权利要求15中的机床，其中使用实体凸轮。

17.按权利要求16的机床，其中凸轮装置只在一个方向动作，在此方向上，设置复位弹簧以提供相反方向的恢复力。

18.按权利要求16中的机床，其中，凸轮装置在两个方向动作，以便提供可靠驱动使该部件向前靠近工件主轴和后退远离工作台主轴。

19.按权利要求18中的机床，其中，两个部件是弹簧加载隔开的，通过凸轮臂的适当向内的运动提供磨削进给，以便允许对硅圆片平周缘的角迅速插补，因为该部件的最大加速度力朝着凸轮向外作用。

20.按权利要求15至19中任一权利要求的机床，其中，凸轮靠近工件主轴支承安装并直接用聚合物混凝土连接两者以形成坚固的阻尼刚性回路。

21.按权利要求1的机床，磨削硅圆盘(圆片)周缘的砂轮是树脂粘合剂立方氮化硼砂轮，或是金刚石砂轮，或金属粘合剂立方氮化硼砂轮。

22.按权利要求21中的机床，其中，不同类型的砂轮装在同一个主轴上。