[发明专利]感光树脂组合物用抗反射涂料无效
申请号: | 97197198.6 | 申请日: | 1997-08-15 |
公开(公告)号: | CN1148609C | 公开(公告)日: | 2004-05-05 |
发明(设计)人: | D·L·杜尔哈姆;I·麦库劳奇;R·R·达麦尔;卢炳宏 | 申请(专利权)人: | 克拉里安特国际有限公司 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 任宗华 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 物用抗 反射 涂料 | ||
【说明书】:
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