[发明专利]控制至少一个容性执行机构的装置和方法有效
| 申请号： | 97197385.7 | 申请日： | 1997-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1156032C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | C·霍夫曼;H·弗罗伊登贝格;H·格尔肯;M·赫克尔;R·皮尔克尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H01L41/04 | 分类号： | H01L41/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马铁良;王忠忠 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 至少 一个 执行机构 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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