[发明专利]距离测量方法和距离测量仪无效

专利信息
申请号: 97199971.6 申请日: 1997-11-19
公开(公告)号: CN1238840A 公开(公告)日: 1999-12-15
发明(设计)人: R·斯平克 申请(专利权)人: 莱卡显微镜系统股份公司
主分类号: G02B21/00 分类号: G02B21/00;G01B11/02;G01S17/46;A61B19/00;G01C3/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 马铁良,张志醒
地址: 瑞士海*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 距离 测量方法 测量仪
【权利要求书】:

1.借助于一个光学射线测量一个物体(6)的物体平面与一个主物镜(18)之间的距离(Z)的方法,其特征在于,照射光线的至少两个分光束(2a,b)在平行光路上在主物镜(18)前边通过它被瞄准物体(6),此时分光束(2a,b)在物体(6)的表面上的截面图像在一个计算装置(19)上用计算方法被用作为计算求得距离(Z)的尺度。

2.按照权利要求1的方法,其特征在于,两个分光束(2a,b)是由一个唯一的光束(2)借助于一个半透明的反射镜(12a;17a)分光而产生的。

3.按照权利要求1或2的方法,其特征在于,每个分光束(2a,b)通过光阑(9a,9b)用几何编码是可以被区别的,其中在计算时被成像的分光束图像绕光轴(11)的一个右-左交换表示物体(6)在聚焦平面(A)上的一个加-减的Z-位移。

4.按照权利要求1的方法,其特征在于,分光束(2a,b)被颜色编码以及频率编码或脉冲编码,其中在计算时相应的使用颜色滤波器或图像点积分。

5.实施按照上述权利要求之一的方法的装置,其特征在于,在主物镜(18)的后面至少安排一个光学射线光源(3),它至少发射的两个分光束(2a,b)通过主物镜(18)射向物体(6)的方向。

6.按照权利要求5的装置,其特征在于,为了分光束(2a,b)的射入和/或由物体(6)来的光束一部分的射出安排了透明的平的光学支架(12,24)以及在其上安放的小的半透明的和/或只能反射的偏转反射镜(12,25)。

7.按照权利要求5或6的装置,其特征在于,直接在主物镜(18)后面的两个分光束(2a,b)在物体(6)上的图像信息被成像在一个位置分辨的光电检测器(27)上,其中具有计算单元(19)的检测器(27)和计算单元(19)必要时与一个距离显示器(21)和/或与一个自动聚焦装置和/或与一个为了立体扫描测量目的的一个输出(23)相连接。

8.按照权利要求5-7之一的用于实施用脉冲调制分光束(2a,b)的方法的装置,其特征在于,一个分光装置(17)从属于射线源(3),一个快门轮(14)或一个可回转的孔形光阑(14)或LCD-快门单元被连接在前边。

9.按照上述权利要求5-8之一的装置,其特征在于,分光束(2a,b)的光被选择在红外区。

10.按照权利要求5至9之一的装置,其特征在于,在光路上安排了附加的分光镜(12c,d)以便产生两个分光束S2′和S2″,它们为了确定光学系统的放大是可以被计算的(比较PCT/EP01311)。

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