[实用新型]空间晶体生长炉用模型晶体无效

专利信息
申请号: 97203467.6 申请日: 1997-04-15
公开(公告)号: CN2294268Y 公开(公告)日: 1998-10-14
发明(设计)人: 葛培文;翟永亮;居彬;庞玉璋;许燕萍;黄卫东 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100080*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 空间 晶体生长 模型 晶体
【说明书】:

本实用新型涉及一种测量熔态晶体生长过程中温场用的模型晶体。

从熔态生长晶体(合金冶炼)尤其是区熔生长,温场控制十分重要。通常只能探测加热体的温度,而无法在生长时测量熔体的温度。为了长好晶体,就需反复试验,以期掌握用加热体温度值来控制生长过程。这有很大程度靠经验,以至有人把晶体生长称作“艺术”。空间晶体生长对这一问题更为突出,因为它只有一次实验机会。以前常用的测量方法是,在熔体中或晶体周围气氛中的温度可以通过放置热电偶测量,而晶体中的温度,或是把热电偶长入晶体中进行测量,或是在晶体的不同位置钻不同深度的孔,将热电偶插入,再将该晶体与熔体熔接起来,继续生长时进行测量。这在闵乃本所著《晶体生长的物理基础》1982年版第8页,以及Scott,R.A.M.在《晶体生长杂志》(J.Cryst.Growth)1971年第10卷39页和Brice,J.C.在《晶体生长杂志》(J.Cryst.Growth)1968年第2卷395页中有比较详细的说明。

这种方法的主要缺点是使用了比较昂贵的晶体,花费很高,而且无法重复测量。因此这种方法是不适于用来确定晶体生长工艺的。

本实用新型的主要目的是制作一种成本低,能够进行重复实验,便于测量熔态生长晶体生长过程中温场分布的模型晶体,可确定晶体生长工艺,

本实用新型的目的是这样完成的:

本实用新型由外套、填料、2~20付热电偶组成,其中外套可由石英管、不锈钢组成,填料可以是硅锭、刚玉粉,在填料中根据需要在不同位置插入2~20付热电偶,用外壳将其封住,从一端引出热电偶接测温仪器。

发明的优点是:

1.能够重复进行实验。

2.能够迅速完成实际晶体生长程序的调试。

3.节省了大量昂贵的材料(GaSb非常贵)。

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细的说明。

图1.使用硅锭作填料的一种模型晶体结构图。

图2.用不锈钢作外套的一种模型晶体结构图。

图面说明如下:

1.电偶  2.填料  3.外套

实施例1:

为在空间生长半导体GaSb晶体而制作一种模型晶体,其结构为:选用硅制作模型晶体的填料(2),把硅切磨成与待长晶体材料同样尺寸的锭(φ10×100mm),在距一端10,30,50,70,90mm处各向轴线打一个眼,各埋入一付热电偶(1)。将该带有热电偶(1)的模型晶体封入石英管外套(3)中。

实施例1:

制备一种对用金属材料作坩埚的超导单晶生长用模型晶体,选用不锈钢作模型晶体的外套(3)(φ10×100mm),在不锈钢外套(3)一端中心打一孔,插入五付热电偶(1),五付热电偶(1)距端点的距离分别为10,30,50,70,90mm,然后在不锈钢外套(3)中填入刚玉粉填料(2)。

将上述模型晶体用于可变温场空间晶体生长炉的实验程序调试,由于模型晶体尺寸与所长晶体一样、热性质相近,所以模型晶体在模拟生长过程中的温场变化与实际生长时待长晶体(包括熔体)中温场变化相近。调试晶体生长炉时,进行全过程的模拟晶体生长,监测整个过程中模型晶体上的温场变化,并进行调整使之达到我们的要求。这样利用模型晶体进行模拟生长实验,能较快得出适用实际生长的工艺程序。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所,未经中国科学院物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/97203467.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top