[实用新型]双侧无油涡旋真空泵

说明书

本实用新型属于真空机械设备领域，特别涉及一种双侧无油涡旋真空泵。

通常的真空系统用油封机械泵作为前级泵，由于用油滑润、密封，对真空环境容易造成油污染，因此近年来人们开始研究无油(干式)真空泵，现有的干式真空泵有往复式无油真空泵，罗茨无油真空泵，爪型无油真空泵等。但这些泵都存在振动噪音大，体积大，功耗大等缺点。美国专利No5.145.344提出的涡旋泵具有许多优点，体积小、重量轻、振动噪音小，由于转子和定子是弹性接触，因此功耗较小。但由于此种涡旋真空泵密封性差，存在压缩效率低和排气效率不高的缺点。

本实用新型的目的在于提供一种结构更加合理，密封性能好，具有较高压缩效率和排气效率的无油涡旋真空泵。

本实用新型由支座、定子、转子、立轴、电机、进气法兰、排气法兰、防自转机构、风扇、气镇阀、排气阀等部分构成。定子分为左、右两个定子，定子和转子都呈盘状，在两个定子周边通过螺栓连接在一起，转子夹在两个定子之间，即位于两定子所围成的腔内。转子两侧都有涡旋体，定子只有面对转子的一侧有涡旋体。定子上的涡旋体和转子上的涡旋体相配合，形成了许多月牙形的压缩腔，在转子两侧对称分布。在转子和定子的涡旋体端面上开有涡旋形密封槽，在密封槽内每隔一定距离钻一个小孔，里面装上弹簧或其他弹性体，保证弹簧从小孔中露出，再在密封槽内装上密封件。主轴是一个曲轴，中间段偏心距Rg，主轴穿过转子和定子的中心轴孔，主轴中间偏心段通过两个滚针轴承和转子相配合。主轴的两端都装有风扇，主轴右端通过联轴器直接和电机相连。防自转机构是一种孔销结构由装在转子周边的三根销轴和与销轴相配合的位于右定子上的三个孔组成。吸气法兰、排气法兰和排气阀都装在右定子上，排气法兰通过螺纹和定子相连接。排气阀由弹簧和金属球组成，弹簧的一端顶在排气法兰根部，另一端顶在球上。两个气镇阀位于两定子的盘体上，由气镇孔和气镇掺入气体导管所组成。气镇孔开在定子盘体上，转子运转时，气镇孔入口在一定角度范围内可以被转子的密封件遮盖。支座上半部分为一桶状壳体，下半部分为底座，定子和支座通过螺栓连接，电机也通过螺栓和支座相连。

主轴在电机驱动下开始转动，主轴的中间偏心段又带动转子，由于分布在转子园周上的防自转销轴的作用，转子只能以一定半径Rg绕两定子中心线作公转运动。气体由进气法兰进入泵腔，随着相配合的转子和定子涡旋体外层末端的一开一合，不断形成许多压缩腔，气体不断地被封入压缩腔内。这些位于外层刚形成的较大的压缩腔随着转子的公转逐渐向中心移动，体积变小，压缩腔内的气体受到压缩，最后压缩腔移动到最里层和排气通道相通时，气体被压缩进排气通道，排气通道内压力达到一定值就会推开排气阀，气体被排出泵腔。

下面结合附图和实施例进一步叙述本实用新型的内容。

图1为本实用新型的整体结构图，

图2为本实用新型的主轴轴系零件的局部放大图，

图3为本实用新型的防自转机构的局部放大图，

图4为本实用新型垂直于轴向的转子、定子剖视图，

图5为图4中连接排气通道和压缩腔的通孔的A-A向剖视图，

图6为本实用新型转子的密封结构细节图。

图中：[1]转子，[2]右定子，[3]左定子，[4]左定子涡旋体，[5]气镇阀气体掺入导管，[6]左定子气镇阀气孔，[7]主轴，[8]左风扇，[9]排气通道，[10]转子左侧涡旋体，[11]左风扇罩，[12]销轴，[13]O型密封圈，[14]进气法兰，[15]排气法兰，[16]弹簧，[17]转子右侧涡旋体，[18]金属球，[19]右风扇，[20]支座，[21]电机，[22]右定子排气通道，[23]右定子气镇阀气孔，[24]右定子气镇阀气体掺入导管，[25]右定子涡旋体，[26]孔用挡圈，[27]油封，[28]滚针轴承，[29]油封，[30]油封，[31]滚针轴承，[32]滚针轴承，[33]油封，[34]深沟球轴承，[35]油封，[36]右定子气镇进气口，[37]左定子气镇进气口，[38]密封件，[39]密封件，[40]左定子涡旋体端面，[41]右定子涡旋体端面，[42]转子右侧涡旋槽底面，[43]密封件，[44]转子左侧涡旋槽底面，[45]转子左侧涡旋体端面，[46]密封件，[47]螺帽，[48]垫片，[49]孔，[50]耐磨垫，[51]连接排气通道和压缩腔的通孔，[52]隔离排气通道和压缩腔的密封槽，[53]转子涡旋槽里层末端前壁，[54]转子涡旋槽里层末端侧壁，[55]转子密封槽，[56]定子涡旋体里层末端，[57]隔离压缩腔和中心轴孔的密封槽，[58]转子涡旋槽里层末端侧壁，[59]隔离中心轴孔和排气通道的密封槽，[60]小弹簧。