[实用新型]一种多用途柱状真空等离子体镀膜源无效
| 申请号： | 97228628.4 | 申请日： | 1997-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN2312945Y | 公开（公告）日： | 1999-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王福贞 | 申请（专利权）人： | 王福贞 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多用途 柱状 真空 等离子体 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1．一种多用途柱状真空镀膜源，由柱状源靶座、柱状源靶材、磁芯、磁芯转动机构、进出水管、屏蔽罩组成，配两个磁性能强弱不同的磁芯，两类不同的电源，其特征是两种磁芯中安装的永磁体均呈条形，而且做旋转运动，靶面上的弧斑轨迹或辉光放电轨迹呈条形或曲线形。
2．根据权利要求1所述的一种多用途柱状真空等离子体镀膜源，其特征是一台镀膜机中只安装一个柱状源，由柱状源靶座、柱状源靶材、磁芯、磁芯转动机构、进出水管、屏蔽罩组成。
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