[实用新型]X射线微探针的激光定位装置

说明书

本实用新型涉及一种X射线微束的定位装置，具体地说，是X射线微探针装置的组成部分，它是将可见的激光束与不可见的X射线束以同一光束线穿过准直器并射向样品，从而，借助观测激光束斑的位置来测定X射线微束轰击样品上的位置。

为了对样品中微小区域进行成份分析，出现了一些微探针技术，其中基于X射线荧光分析(XRF)技术的X射线探针，由于它能够在大气中工作，制样要求简单，能够提供样品深部信息等优点，因此X射线探针在地质、生物、微电子、考古、工艺品检验等领域中获得广泛地应用，随着新型的高亮度同步辐射光源出现，X射线微探针以其卓越的空间分辨率和元素检测限，成为非常重要的微探针技术。

但是由于X射线照射在样品上一般并不产生可见的光斑，因此，精确的微束定位是X射线微探针应用的技术难点。为了测量X射线微束的束斑大小和位置，Nicholc M.C采用束流剖面器，(参见“Advances in X-Ray Analyes,Vol.30(1987),45”)，乐安全等则采用来回移动荧光玻璃和被测样品的方法，(参见“光谱学与光谱分析”Vol.13(3)(1993),79而朱节清等却采用来回移动显微镜的反射镜和微束准直器的方法(参见CN1110405A,(1995),GOIN 23/223)。这些束斑定位方法都将观测束斑和观察样品分成二步，它们不仅操作麻烦，而且显微镜和反射镜角度或位置的微小变化都会引起X射线微束束斑定位观测的严重误差。

本实用新型的目的是提供一种新的X射线微束的定位装置，将可见激光束与不可见的X射线束以同一光束线穿过准直器，并且射向样品，通过观测激光束斑的位置，便能够直接而精确地测定X射线微束轰击在样品上的位置。这种激光束定位装置适用于由X射线管或同步辐射光源作为初级辐射的X射线微探针。

本实用新型是这样实现的，包括设有通道孔的X射线通道座和设有准直通孔的准直器，初级X射线束经该通道孔进入准直通孔后形成X射线微束，并沿光束线的方向射向样品的表面，其特点是：有一与该X射线通道座成倾斜吻合的激光灯管座，并在该灯管座上设一连通X射线通道座上的通道孔和准直器上的准直通孔的通道孔，和一与灯管座上的该通道孔垂直贯通的另一通道孔，并设一与该灯管座上二通道孔分别成45°倾斜的激光反射镜，使该初级X射线束自X射线座上的通道孔穿过该反射镜，经该灯管座上的该另一通道孔进入准直器上的准直通孔；有一激光灯管产生激光束经该灯管座上的该通道孔射至该反射镜后，经90°反射进入该灯管座上的该另一通道孔，再经准直器上的准直通孔后形成激光微束，并沿光线束方向射向样品表面形成可见光斑，该光斑位置借由一安装在视角方向的显微镜经另一反射镜测定。

进一步，本实用新型的准直器包括上准直孔和下准直孔，它们形成准直通孔，该准直通孔的长度以上、下准直孔的孔径的20倍以上为最佳，并要求上、下准直孔的孔板厚度要足以吸收初级X射线。

本实用新型的反射镜是一在光线束方向上设有通孔的薄镜片，其安装在显微镜反射镜座的斜面上，或其是一由显微镜反射镜座的斜面镀铬后抛光成的镜面。

本实用新型的X射线通道座上设有一遮挡该通道孔的X射线光闸，以便在不测量时可以将初级X射线挡住，保证人身安全。

最后，本实用新型的激光灯管座的前部和后部设有微调该激光灯管的位置和方向的支头螺丝。

本实用新型的优点是：1、操作简便；2、测量精度高；3、易于实施。

本实用新型的附图简单说明如下：

图1是本实用新型的结构剖视示意图。

图2是本实用新型中的准直器6的结构剖视示意图。

下面根据图1和图2给出本实用新型一个较好的实施例，并予以详细描述，以便进一步提供本实用新型的技术细节。