[实用新型]低温等离子体工业废气处理装置

权利要求书

1．一种低温等离子体工业废气处理装置，由低温等离子体放电管、电源及相应的外壳中框、上接口和下接口、分气管组成，其特征在于低温等离子放电管有1～100个并行排列外壳中框内，上、下接口呈喇叭形，其大口分别与中框的两侧固定连接，其小口分别与进气管和排气管连接，分气管设置于中框两侧，并与放电管的内管连通。

2．根据权利要求1所述的低温等离子体工业废气处理装置，其特征在于上述的放电管由同轴安装的外管和内管构成，外电极以螺旋状形式缠绕于外壳外侧面，内电极置于内管里面，外管长度为100～500mm，内径为20～100mm，内管外径为10～30mm。

3．根据权利要求1或2所述的低温等离子体工业废气处理装置，其特征在于电源由对称方波发生器和高压发生器构成，其中对称方波发生器由振荡器、双稳态分频器、缓冲器、脉冲变压器经电路连接构成，高压发生器由调压变压器、整流电路、滤波电路、高压驱动电路和高压变压器经电路连接构成，其高压驱动电路由两组功率驱动模块和相应的驱动器组成，脉冲变压器的输出端分别与两个功率驱动模块的驱动器连接，高压变压器的输出端分别与等离子体放电管的内、外电极连接。

4．根据权利要求3所述的低温等离子体工业废气处理装置，其特征在于电源输出的连续方波的频率在5KC～80KC范围连续可调，电压在3KV-30KV范围连续可调。