[发明专利]在一基体上形成图案的方法和装置

权利要求书

1、在一基体(1、41)上形成图案的方法，该方法用其上至少有一喷嘴(18)的喷头(6)，按照一图案把液体喷到基体(1、41)上，其特征在于，在基体上形成图案的过程中，还进行保持喷嘴(18)清洁的自动保洁工序。

2、按权利要求1所述的方法，其特征在于，该自动保洁工序在图案形成的整个过程中连续进行。

3、按权利要求1所述的方法，其特征在于，该自动保洁工序间断进行。

4、按权利要求3所述的方法，其特征在于，该自动保洁工序在基体(1、41)的边缘处进行。

5、按权利要求3或4所述的方法，其特征在于，该自动保洁工序在基体(1、41)区域上进行，为此须中断图案形成过程。

6、按权利要求3或4所述的方法，其特征在于，该自动保洁工序当按照该图案不在基体(1、41)上喷射液体时在基体(1、41)区域上进行。

7、按权利要求2或3所述的方法，其特征在于，为了保持喷嘴(18)的清洁，吸出基体(1、41)与喷嘴(18)之间间隙中的空气。

8、按权利要求7所述的方法，其特征在于，吸出在喷嘴(18)与基体(1、41)相对运动方向上位于该间隙前方的区域中的空气。

9、按权利要求2或3所述的方法，其特征在于，为了保持喷嘴(18)的清洁，把空气吹入该间隙。

10、按权利要求2或3所述的方法，其特征在于，为了保持喷嘴(18)的清洁，用静电吸出喷嘴(18)与基体(1、41)之间间隙中的颗粒。

11、按权利要求3-6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，为了保持喷嘴(18)的清洁，用液体冲洗喷嘴(18)本身。

12、按权利要求3-6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，为了保持喷嘴(18)的清洁，清扫其上至少有一喷嘴(18)的一喷头板(7)的表面。

13、按权利要求1-12中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所使用的基体为平面基体(41)。

14、按权利要求1-12中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所使用的基体为圆筒形基体(1)。

15、按权利要求13或14所述的方法，其特征在于，所使用的基体(1、41)为一适合于生成一印刷模板或印刷原版的基体。

16、在一基体(1、41)上形成一图案的装置，该装置包括其上至少有一按照图案把液体喷射到基体上的喷嘴(18)的喷头(6)和使喷头(6)与基体(1、41)相对运动的驱动装置，其特征在于，所述形成图案的装置还包括一自动保持该至少一个喷嘴(18)的清洁的装置(8、9、10；11、11a、13、13a；16；19、20、21；22；26；27；37、38；42、43)。

17、按权利要求16所述的装置，其特征在于，该喷头(6)包括至少布置成一排的多个喷嘴。

18、按权利要求16或17所述的装置，其特征在于，该保洁装置至少有一导管(8)，该导管开口在喷头(6)与基体(1)之间的间隙区域并通向一真空生成装置。

19、按权利要求18所述的装置，其特征在于，该导管(8)通向一在喷嘴(18)与基体(1)的相对运动方向上位于该间隙前方的区域。

20、按权利要求16或17所述的装置，其特征在于，该保洁装置至少有一导管(11、11a)，该导管开口在喷头(6)与基体(1)之间的间隙区域并通向一正压生成装置。

21、按权利要求20所述的装置，其特征在于，该导管(11、11a)通向一在喷嘴(18)与基体(1)的相对运动方向上位于该间隙前方或后方的区域。

22、按权利要求18-21中任一权利要求所述的装置，其特征在于，导管与喷头(6)制成一体。

23、按权利要求18-22中任一权利要求所述的装置，其特征在于，导管的嘴设计成一与该排喷嘴间隔一定距离且平行的纵向切口(10)。