[发明专利]制备薄膜装置中用的金属平板加热器无效
| 申请号： | 98101216.7 | 申请日： | 1998-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1230605A | 公开（公告）日： | 1999-10-06 |
| 发明（设计）人： | 周岳亮;吕惠宾;陈正豪;何萌;郭向欣;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 薄膜 装置 中用 金属 平板 加热器 | ||
【权利要求书】：
1．一种制备薄膜的装置中用的金属平板加热器，包括加热板，电极引线，控温仪，电流取样器，热电偶组成，其特征在于还包括一个大电流变压器，和金属平板加热板做成两端厚中间薄的形状，金属箔做的电极由电极引线夹固定在加热板两端；大电流变压器初级接到可控硅输出端，变压器次级接到加热板上，加热电流用感应线圈或热电偶取样，它们通过选取取样种类的转换开关与控温仪取样输入端相连接。
2．按权利要求1所述的制备薄膜装置中用金属平板加热器，其特征是所述加热板材料是不锈钢或其它耐高温合金或耐高温金属。
3．按权利要求1所述的制备薄膜装置的金属平板加热器，其特征是所述的加热器平板两端用金属箔软连接。
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