[发明专利]带有级间阀的多级机械高真空泵

权利要求书

1、一种带有级间阀的多级机械高真空泵，其特征在于：(1)所述高真空泵至少有两级，每一级有气体吸入通道和排出通道。(2)所述高真空泵至少有一个级间阀，所述级间阀连接在一个级(以下简称高真空级)的排气通道和另一个级(以下简称低真空级)的进气通道。由所述高真空级的排出气体通过所述级间阀排到所述的低真空级。

2、如权利要求1所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述级间阀包含一个只向低真空级的进气通道单向开启的挡板。该挡板只允许气体从高真空级向低真空级的排放。所述级间阀的开启和关闭由该挡板两边的气体压力差控制。

3、如权利要求2所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述级间阀进一步包含一种锁定装置和一种定时方法。所述锁定装置压紧和放松档板，所述定时方法控制锁定装置的压紧和放松功能以便与高真空级的排气过程同步配合。

4、如权利要求1所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述高真空泵进一步包括一种定时方法。所述级间阀是一种转子阀。该转子阀包含至少有一个缺口的转子。所述定时方法控制该转子阀的旋转以便与高真空级的排气过程同步配合。

5、如权利要求1所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述高真空泵进一步包括一种定时方法。所述级间阀是一种转子阀。该转子阀包含一个通道。所述高真空级和所述低真空级每转一周分别有两个排气过程。所述通道控制从高真空级向低真空级的排气。所述定时方法控制转子阀的旋转以便与高真空级的排气过程同步配合。

6、如权利要求1所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述高真空级和所述低真空级分别包含带有滑块的转子。该滑块在转子内的滑动而驱动了气体从进气通道向排气通道移动。

7、如权利要求6所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述高真空泵进一步包含一种定时方法，所述低真空级和所述高真空级转子的转动轴是互相平行的，这个定时方法控制两个转动轴的同步旋转。

8、如权利7所述的多级机械高真空泵，其特征在于：所述高真空泵进一步包含一种定时方法，所述级间阀是带有缺口的转子级间阀。该定时方法控制转子级间阀的转动，以便与高真空级的排气过程同步配合。

总而言之，在多级机构真空泵上加装至少一个级间阀极大地提高了多级机械真空泵的整体性能。