[发明专利]光纤无源校准装置及校准方法

权利要求书

1、一种光纤无源校准装置，用以无源校准集成光学装置的光纤和输入／输出光波导，其特征是包括：

一个沿平面基片纵向并在该平面基片上形成的光波导，其芯子短于平面基片；

一个沿所述平面基片纵向并在所述平面基片上形成有一预定长度的光纤安装部分，以使所述光波导和光纤相互接触，用以接触光纤；以及

一个置于所述光纤安装部分和所述光波导芯子之间的空腔，其中充填在紫外线的照射下其折射稍有增加的材料，以使所述材料的折射率和所述光纤芯子的折射率没有明显的不同。

2、按照权利要求1所述的光纤无源校准装置，其特征在于，所述光纤具有单一芯子或多个芯子。

3、按照权利要求2所述的光纤无源校准装置，其特征在于，所述空腔具有的截面形状为三角形、正方形、半圆形或多边形。

4、按照权利要求1所说的光纤无源校准装置，其特征在于，所述空腔是由从硅基片刻蚀，机械精密处理和精密模塑组成的一组中选取的一种方法而形成的。

5、一种光纤无源校准方法，用以无源校准集成光学装置的光纤和输入／输出光波导，其特征是包括以下步骤：

(a)沿平面基片的纵向形成一光波导作为一层；

(b)在所述平面基片上形成光纤安装部分，其上安装所述光纤以将所述光纤和光波导耦合；

(c)在所述光纤安装部分和光波导之间形成预定尺寸的空腔；

(d)在所述光纤安装部分上安装所述光纤；

(e)向所述空腔中注入随紫外线辐射其折射率增加的材料；

(f)通过向充填空腔的材料上辐照紫外线而使所述光纤和光波导耦合。

6、按照权利要求5所述的光纤无源校准方法，其特征在于，在形成光纤安装部分的步骤(b)中，部分去除在平面基片上形成的光波导层的一部分以形成将所述光纤和光波导耦合的所述光纤安装部分。

7、一种光纤无源校准方法，用以无源校准集成光学装置的光纤和输入／输出光波导，其特征是包括以下步骤：

(a)沿平面基片纵向形成光波导；

(b)在所述平面基片上形成其上安装有光纤的光纤安装部分，以将所述光纤和光波导耦合；

(c)在所述光波导附近的所述光纤安装部分上安装所述光纤，并固定该光纤；

(d)切割安装在所述光波导附近光纤安装部分上的光纤和光波导，以使所述光纤和光波导的截面同时被研磨，因此在所述光纤安装部分和光波导之间形成预定尺寸的空腔；

(e)向所述空腔中注入随紫外线辐射其折射率增加的材料；且

(f)通过向注入槽中的材料上辐照紫外线使所述光纤和光波导耦合。

8、按照权利要求7所述的光纤无源校准方法，其特征在于，在形成光纤安装部分的步骤(b)中，部分去除在所述平面基片上形成的一部分光波导层以形成所述光纤安装部分用以将所述光纤和光波导耦合。