[发明专利]炉侧壁温度控制系统无效
| 申请号： | 98102788.1 | 申请日： | 1998-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1135905C | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | G·T·勒考拉斯;D·P·罗迪尔 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H05B1/02 | 分类号： | H05B1/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 叶恺东;王岳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 侧壁 温度 控制系统 | ||
【说明书】：
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