[发明专利]用能量束在工件表面熔蚀不规则凹陷形成复杂轮廓的方法无效
| 申请号： | 98103059.9 | 申请日： | 1998-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1120763C | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 朝日信行;内田雄一;久保雅男 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;H01L21/027;B23K26/36;H05K3/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 能量 工件 表面 不规则 凹陷 形成 复杂 轮廓 方法 | ||
【权利要求书】：
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