[发明专利]化学沉积用活化催化溶液和化学沉积方法

权利要求书

1．一种用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，它包括乳酸盐、钯盐和碱性介质的混合物。

2．如权利要求1所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中所述乳酸盐的含量为0.01-1g。

3．如权利要求2所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中所述钯盐的含量为0.01g至饱和。    

4．如权利要求3所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中所述乳酸盐的含量为0.1-0.5g，钯盐的含量为0.03-0.7g 。

5．如权利要求4所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述乳酸盐包括乳酸铜和乳酸锌中的至少一种。

6．如权利要求5所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中乳酸铜的含量为0.003-0.5g，乳酸锌的含量为0.01-0.5g。

7．如权利要求5所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中乳酸铜的含量为0.02-0.4g，乳酸锌的含量为0.05-0.2g。

8．如权利要求6所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述钯盐是氯化钯。

9．如权利要求8所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述碱性介质是氨水。

10．如权利要求9所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述溶液同时含有乳酸铜和乳酸锌。    

11．如权利要求1所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述乳酸盐包括乳酸铜和乳酸锌中的至少一种。

12．如权利要求11所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于每10ml中乳酸铜的含量为0.003-0.5g，乳酸锌的含量为0.01-0.5g。

13．如权利要求1所述的用于化学沉积的亲水性活化催化溶液，其特征在于所述溶液同时含有乳酸铜和乳酸锌。

14．一种化学沉积的方法，包括下列步骤：

将用于化学沉积的亲水性活化催化溶液施涂在基材上，在所述基材上形成感光膜，所述亲水性活化催化溶液包括乳酸盐、钯盐和碱性介质的混合物；

辐照所述感光膜，将钯催化剂沉积在所述基材上；

使用所述钯催化剂作为活化催化剂对所述基材进行化学沉积。

15．如权利要求14所述的方法，其特征在于对所述感光膜进行选择性辐照，在感光膜上形成受照区和未受照区。

16．如权利要求15所述的方法，其特征在于在化学沉积前还包括通过与水性液体接触除去感光膜未受照部分的步骤。    

17．如权利要求14所述的方法，其特征在于所述乳酸盐包括乳酸铜和乳酸锌中的至少一种。

18．如权利要求17所述的方法，其特征在于每10ml中乳酸铜的含量为0.003-0.5g，乳酸锌的含量为0.01-0.5g。

19．如权利要求18所述的方法，其特征在于所述溶液同时含有乳酸铜和乳酸锌。    

20．如权利要求19所述的方法，其特征在于所述溶液含有氯化钯和氨水。

21．如权利要求16所述的方法，其特征在于在除去感光膜未受照部分的步骤和化学沉积步骤之间还包括加热基材的步骤。

22．如权利要求21所述的方法，其特征在于将所述基材在140-180℃的温度进行加热。