[发明专利]敷金属薄膜及薄膜电容器

权利要求书

1、敷金属薄膜，其特征在于，具有绝缘性的薄膜、在该薄膜上形成的金属蒸镀膜、和将该金属蒸镀膜分割成多个蓄电部的非蒸镀部即蓄电部间隔边，在上述各蓄电部上，由应连接电极的电极连接用端面侧起，顺序形成沿上述电极连接用端面延伸的薄壁部、比该薄壁部壁厚大的厚壁部、和比该厚壁部壁厚小的平坦部。

2、敷金属薄膜，其特征在于，具有绝缘性的薄膜、在该薄膜上形成的金属蒸镀膜、和将该金属蒸镀膜分割成多个蓄电部的非蒸镀部即蓄电部间隔边，在上述各蓄电部上，沿着应连接电极的电极连接用端面。形成比其它部份即平坦部壁厚小的薄壁部。

3、权利要求1所述的敷金属薄膜，其特征在于，上述金属蒸镀膜由锌或锌合金形成，上述薄壁部中的金属蒸镀膜的厚度换算成表面电阻值为3～50Ω/□，上述厚壁部中的金属蒸镀膜的最大厚度换算成表面电阻值为1～10Ω/□，上述平坦部中的金属蒸镀膜的厚度换算成表面电阻值为2～50Ω/□。

4、权利要求2所述的敷金属薄膜，其特正在于，上述金属蒸镀膜由锌或锌合金形成，上述薄壁部中的金属蒸镀膜的厚度换算成表面电阻值为3～50Ω/□，上述其它部份中的金属蒸馏膜的厚度换算成表面电阻值为1～13Ω/□。

5、权利要求1～4所述的敷金属薄膜，其特征在于，在上述金属蒸镀膜之上和/或之下形成SiOx(X为1～2的任意数)的膜。

6、薄膜电容器，其特征在于，将权利要求1～5任一项所述的敷金属薄膜作为第1敷金属薄膜，将在绝缘性薄膜上形成金属蒸镀膜而构成的第2敷金属薄膜叠层在该第1敷金属薄膜上，将上述第1敷金属薄膜的金属蒸镀膜的上述电极连接用端面连接第1电极，将上述第2敷金属薄膜的金属蒸镀膜连接第2电极。

7、权利要求6所述的薄膜电容器，其特征在于，上述金属蒸镀膜都由锌或锌合金形成，在上述第1敷金属薄膜的上述电极连接用端面上，连接由锌或锌合金构成的第1电极。

8、薄膜电容器，其特征在于，将权利要求1或4所述的敷金属薄膜作为第1敷金属薄膜，将在绝缘性薄膜上形成金属蒸镀膜而构成的第2敷金属薄膜叠层在该第1敷金属薄膜上，在将上述第2敷金属薄膜的一端部重叠在上述第1敷金属薄膜的上述厚壁部上的状态下，将上述第1敷金属薄膜的金属蒸镀膜的上述电极连接用端部连接第1电极，将上述第2敷金属薄膜的金属蒸镀膜连接第2电极。