[发明专利]用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置

权利要求书

1.一种用于测试半导体装置的机械手系统，其包括一支承架，一对安装于该支承架上的传送带，该对传送带在相对这些传送带的传送方向的横向相互隔开；一用于驱动这些传送带的驱动电机；该支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处布置的沿传送带的传送方向的横向延伸的撑拉杆，改进处包括，若干装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊，其中这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外，从而使得可将该传送带从该支承架上卸下而不需要从该支承架上卸开各撑拉杆。

2.如权利要求1所述的机械手系统，其特征在于，各张紧辊定位得可使每条传送带的下支带偏转跨过各撑拉杆的顶部。

3.如权利要求2所述的机械手系统，还包括：一个与驱动电机和传送带工作式相连的驱动轴，用于将驱动扭矩传送给这些传送带，每个驱动轴都在每条传送带的前后端之间的位置处沿传送带的传送方向的横向延伸，驱动轴的相对两端延伸穿过由各传送带形成的环路，该驱动轴包括两个半轴件，该两半轴件由一可拆卸的联轴器于该驱动轴的相对两端的中部处相互连接起来，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过两半轴件之间。

4.如权利要求1所述的机械手系统，还包括：一个与该驱动电机的传送带工作式相连的驱动轴，用于将驱动扭矩传送给这些传送带的带，每个驱动轴都在每条传送带前后端之间的各位置处沿与传送带的传送方向的横向延伸，驱动轴的相对两端穿过由各传送带形成的环路，该驱动轴包括两个半轴件，该两半轴件由一可拆卸的联轴器于该驱动轴的相对两端的中部处相互连接起来，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过该两半轴件之间。

5.一种用于测试半导体装置的机械手系统，其包括：一支承架；一对装在该支承架的各自侧部并被驱动的传送带，且该对传送带在沿该传送带的传送方向的横向相互隔开；一个横向件，该横向件具有两个端部，该两端部穿过由各相应传送带形成的环路并连接到该支承架侧部相应处，该横向件在每条传送带前后端之间的各位置处沿传送带传送方向的横向延伸，该横向件包括两个由一个可拆卸的联轴器于该横向件的相对两端的中部处相互连接起来的部件，因此，在装卸该传送带期间，卸开该联轴器就可使传送带穿过该横向件的两部件之间。

6.如权利要求5所述机械手系统，其特征在于该横向件包括一个用于驱动各传送带的驱动轴。