[发明专利]集成电路制造厂批次序列机器的制造控制方法

权利要求书

1．一种在一制造工厂中操作一批次序列机器的方法，用以在预防保养步骤之后，最优化一通过一系列工序处理站的工作批量的工序，该工序处理站执行各种工序功能，包括下列步骤：

在一制造工厂中提供一批次序列机器；

提供一具有数据存储作用的存储装置的数据处理系统；

提供一中央处理装置，以用来

(a)自该存储装置存取数据，

(b)自一输入装置接收数据，

(c)将数据供给该存储装置；

收集用于通过各工序处理站的批量工序的间隔时间(Ii,j)；

形成一通过工序处理站的批量工序的减少时间矩阵；

决定一系列处理站组合的减少时间排列，该处理站用以执行所需的工序任务；及

选择提供总工序时间的最大减少值的间隔时间组合。

2．如权利要求1所述的方法，其中形成一减少时间矩阵，以用于通过该处理站的工序批量，依据一方程式执行：

Ci,Cj=Rij=(I_ij,1-I_i,1)+(I_ij,2-I_i,2)+…+(I_ij,M-I_iM)

3．如权利要求1所述的方法，其中，M为群组配方数，

设定：N为工厂中群组的配方路线的数目，

      Fs为炉管运转容量，

      Cs为化学站运转容量，

则上述的群组配方数M则依据一方程式计算：

M=Fs÷Cs。

4．如权利要求3所述的方法，其中形成一减少时间矩阵，以用于通过该处理站的工序批量，依据一方程式执行：

Ci,Cj=Rij=(I_ij,1-I_i,1)+(I_ij,-2I_i,2)+…+(I_ij,M-I_iM)

5．如权利要求3所述的方法，其中，随着形成该减少时间矩阵，该组合展开成N！，且处理在该展开的组合上的数据。

6．如权利要求4所述的方法，其中，随着形成该减少时间矩阵，该组合展开成N！，且处理在该展开的组合上的数据。

7．如权利要求1所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

8．如权利要求2所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

9．如权利要求3所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

10．如权利要求4所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

11．如权利要求5所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

12．如权利要求6所述的方法，其中个别减少的总时间依据一方程式计算：

Ti=R_i,1+R_i,2+…R_i,N,   i=1至N！

13．如权利要求1所述的方法，其中最大减少时间组合依据一方程式计算：

最佳组合=Max{T_i,i=1至N！}

14．如权利要求2所述的方法，其中最大减少时间组合依据一方程式计算：

最佳组合=Max{T_i,i=1至N！}