[发明专利]液晶装置及其制造方法和投影型显示装置

权利要求书

1、一种液晶装置，该装置包括一个液晶装置用基板和对置的基板，在该液晶装置用基板与对置基板之间夹持液晶，所述的液晶装置用基板具有由多条数据线和多条扫描线将象素构成矩阵状的显示区，在该显示区外侧与上述数据线和上述扫描线中的至少之一连接的周边驱动电路，与上述数据线和扫描线相连的多个薄膜晶体管；其特征在于：在上述液装置用基板上形成的上述薄膜晶体管至少对应沟道区具有通过该沟道区的下层侧的层间绝缘膜分别重叠的具有导电性的第一遮光膜，并具有能把恒定电压加在该第一遮光膜上的结构。

2、如权利要求1所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜具有重叠在上述沟道区的沟道遮光部分和为了将恒定电压加在该沟道遮光部分上而从该沟道遮光部分延伸的配线部分。

3、如权利要求2所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜的配线部分从上述各沟道遮光部分分别沿上述扫描线和数据线中的至少一方的信号线延伸设置，在该显示区的外侧对应在与上述第一遮光膜不同的层上形成的恒定电位配线至少经由上述层间绝缘膜的引导孔相连。

4、如权利要求2所述的液晶装置，其特征在于：上述第一遮光膜的配线部分从上述各沟道遮光部分分别沿上述扫描线和数据线中两方的信号线延伸到上述显示区的外侧，在该显示区的外侧对应在与上述第一遮光膜不同的层上形成的恒定电位配线至少经由上述层间绝缘膜的引导孔相连。

5、如权利要求3或4所述的液晶装置，其特征在于：上述第一遮光膜的各配线部分在上述显示区的外侧对应上述恒定电位配线经由上述层间绝缘膜的引导孔相连。

6、如权利要求5所述的液晶装置，其特征在于：上述第一遮光膜的配线部分的单侧端部对应上述恒定电位配线经由上述层间绝缘膜的引导孔相连。

7、如权利要求5所述的液晶装置，其特征在于：上述第一遮光膜的配线部分的两侧端部对应上述恒定电位配线经由上述层间绝缘膜的引导孔相连。

8、如权利要求3或4所述的液晶装置，其特征在于：上述第一遮光膜的配线部分从上述沟道各遮光部分分别沿上述扫描线和数据线中的至少一方的信号线延伸到上述显示区的外侧，在该显示区外侧，上述第一遮光膜的各配线部分与由上述第一遮光膜同样的材料组成的于线相连接。

9、如权利要求8所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜的配线部分的单侧端部与上述干线相连接。

10、如权利要求8所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜的配线部分的两侧端部分与上述干线相连接。

11、如权利要求2至10中任一项所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜对应重叠在上述薄膜晶体管的漏极区上形成储存电容的电容配线至少经由上述层间绝缘膜的引导孔相连接。

12、如权利要求2至10中任一项所述的液晶装置，其特征在于上述第一遮光膜通过上述层间绝缘膜重叠在上述膜晶体管的漏极区构成存储电容。

13、如权利要求2至8中任一项所述的液晶装置，其特征在于：上述恒定电位配线连接在向上述驱动电路供给低电位侧电源的供电线上。

14、如权利要求2至8中任一项所述的液晶装置，其特征在于：上述恒定电位配线从上述液晶装置用基板与在通过上下导电料将对置电极电供给上述对置基板的对向电极上的供电线相连接。

15、如权利要求2至8中任一项所述的液晶装置，其特征在于上述恒定电位配线是将接地电位供给上述周边驱动电路上的供电线。

16、如权利要求1至15中任一项所述的液晶装置，其特征在于上述液晶装置用基板和上述对置基板中的至少一方的基板具有遮挡围上述显示区的显示画面用的遮光膜。

17、如权利要求1至16中任一项所述的液晶装置，其特征在于上述液晶装置用基板在上述晶体管的沟道区的上层侧具有覆盖沟道区的第二遮光膜。

18、如权利要求17所述的液晶装置，其特征在于上述第二遮光膜是上述数据线。

19、如权利要求1所述的液晶装置，其特征在于上述周边驱动电路具有P沟道型驱动电路用的薄膜晶体管和N沟道型驱动电路用薄膜晶体管，该P沟道型和N沟道型驱动电路用的薄膜晶体管兼用薄膜晶体管的制造工序形成。