[发明专利]用于出现在电子电路部件表面上残余物腐蚀性效果定量测量的方法和设备有效

专利信息
申请号: 98107079.5 申请日: 1998-02-23
公开(公告)号: CN1206831A 公开(公告)日: 1999-02-03
发明(设计)人: T·L·慕森;D·O·鲍尔斯 申请(专利权)人: 污染研究实验室有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张志醒,陈景峻
地址: 美国印*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 现在 电子电路 部件 表面上 残余物 腐蚀性 效果 定量 测量 方法 设备
【权利要求书】:

1.用于定量测量出现在电子电路部件表面上的残余物的腐蚀性效果的一种方法,此方法包括:

a.将提取室放置在要测量的电子电路部件(“ECA”)区域上;

b.将提取液加入所述提取室;

c.利用所述提取液接触要测量的ECA区域足以从ECA区域中提取残余物并生成含有残余物的液体的时间;

d.将所述含有残余物的液体加入包括两个或多个电极的测试室,其中含有残余物的液体至少加入到电极之间的空间中;

e.给至少一个电极加上电压;

f.测量电压加上到电极之间短路之间的时间。

2.根据权利要求1的方法,还包括步骤:将加上电压到电极之间短路之间的所测量到的时间变换为从部件中提取的残余物量的值。

3.根据权利要求1的方法,其中所述提取室和所述测试室组合为一个提取/测试室。

4.根据权利要求1的方法,其中允许所述提取液接触所述ECA区域2分钟到10分钟之间的一个时间。

5.根据权利要求1的方法,其中所述电压是在1.0V与5.0V之间。

6.根据权利要求1的方法,其中所述电压是在3.0V与4.0V之间。

7.根据权利要求1的方法,其中所述提取液是皂化的消电离水。

8.用于定量测量出现在电子电路部件表面上残余物的腐蚀性效果的一种设备,此设备包括:

(a)提取室,用于将提取液加入要测量的电子电路部件(“ECA”)区域中;

(b)提取液,用于从要测量的ECA区域中提取残余物;

(c)测试室,具有第一电极和第二电极;所述测试室还具有用于给所述第一电极加上电压的装置;和

(d)用于测量加上电压到电极之间短路之间的时间的装置。

9.根据权利要求8的设备,其中所述提取室和所述测试室组合为一个提取/测试部件。

10.根据权利要求8的设备,还包括一个滤波器,保持所提取的残余物并因而集中含有残余物的提取液。

11.根据权利要求8的设备,其中所述提取液是皂化的消电离水。

12.用于定量测量出现在电子电路部件表面上残余物的腐蚀性效果的一种方法,此方法包括:

a.将提取室放置在要测量的电子电路部件(“ECA”)区域上;

b.将非离子提取液加入所述提取室;

c.利用所述提取液接触要测量的ECA区域足以从ECA区域中提取残余物并生成含有残余物液体的一个时间;

d.将所述含有残余物的液体加入用于测量出现在含有残余物液体中残余物的量的测试设备中;和

e.利用所述测试设备测量出现在含有残余物液体中残余物的量。

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