[发明专利]隧道结结构及其制造方法和磁敏传感器无效
| 申请号： | 98108447.8 | 申请日： | 1998-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1167145C | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 佐藤雅重;菊地英幸;小林和雄 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H01L43/00 | 分类号： | H01L43/00;G11B5/33;G11B5/37 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隧道 结构 及其 制造 方法 传感器 | ||
【说明书】：
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