[发明专利]薄膜型加热器及其制造方法无效
| 申请号： | 98108722.1 | 申请日： | 1998-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1202602A | 公开（公告）日： | 1998-12-23 |
| 发明（设计）人： | 徐五权;金兴范;南升浩 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | F24F6/10 | 分类号： | F24F6/10;H05B3/12 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 加热器 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜型加热器包括：
一个基底；
多个以一个预定图案涂覆于该基底上的单元加热层；
一个用于将所述各单元加热层互连以形成一个电流路径的电极层；和
一个涂覆于所述基底用于保护所述加热层和电极层的保护层。
2.根据权利要求1所述的薄膜型加热器，其中，所述加热层是由一种选自于包括TaAl、Ni-Cr合金、SnO2、HfB2和Ta的材料组中的材料形成的。
3.根据权利要求1所述的薄膜型加热器，其中，还包括一个用于为所述加热器施加电流的接线端子。
4.根据权利要求1所述的薄膜型加热器，其中，所述电极层是由一种选自于包括Al、Au、Ag、RuO2和Pt的材料组中的材料形成的。
5.根据权利要求1所述的薄膜型加热器，其中，所述保护层是由一种选自于包括Si3N4、SiO2和SiC的材料组中的材料形成的。
6.根据权利要求1所述的薄膜型加热器，其中，所述保护层沿所述加热层和所述电极层的上表面线形成并具有一个预定的厚度。
7.一种用于制造薄膜型加热器的方法，包括以下步骤：
(a)用一种选自于包括TaAl、Ni-Cr合金、SnO2、HfB2和Ta的材料组中的材料在一个基底上以一个预定的图案涂覆一个薄膜，以形成一个单元加热层；
(b)通过将所述单元加热层与所述基底上的一个电极层互连，形成一个电通路
(c)在上述基底上形成一个保护层，以保护所述加热层和电极层。
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