[发明专利]用于微电子工业的高纯化学品的制备方法和装置

权利要求书

1．一种可用于微电子工业的高纯液体化学品的制备方法，其特征在于该方法从一种化学品气体开始，该气体逆流流过最初的去离子高纯水溶液而在两个纯化塔中连续地进行纯化，所述去离子水逐渐充满杂质，同时离开第二纯化塔时的气体具有高的纯度，尤其是金属元素的含量低，和特征在于在填料塔内接着将纯化气体溶解，收集于塔的底部并富含纯化的化学气体的液体连续地再循环到填料塔中，和特征在于当已达到溶解气体的浓度时，接着分配高纯化学品。

2．根据权利要求1的方法，其特征在于将热交换器放置在用于循环化学品的环路中，大部分冷却了的液体，多于70％体积，送入溶解塔中，其它部分直接再循环进入收集化学品的容器中。

3．根据权利要求2的方法，其特征在于向交换器内加入定期补充的冷的去离子水。

4．根据权利要求3的方法，其特征在于在板式或管式交换器内用乙二醇水溶液冷却去离子水。

5．根据上述任一权利要求的方法，其特征在于将化学气体连续地溶解在水中并定期除去反应热，从而使产品温度保持在约20-25℃和控制再循环和抽出的溶液的流速比，从而使产品的温度保持在相同范围内。

6．根据权利要求5的方法，其特征在于化学品为具有流速比在80-260之间的50％氢氟酸。

7．根据权利要求5的方法，其特征在于化学品为具有流速比在3-10之间的5％氢氟酸。

8．根据权利要求5的方法，其特征在于化学品为具有流速比在20-65之间的35％盐酸。

9．根据权利要求5的方法，其特征在于化学品为具有流速比在18-60之间的30％氨水。

10．根据1-9中任一权利要求的连续操作的方法，其特征在于通过分析化学品溶液的滴定度而调节水的连续供应，当达到所需滴定度时停止注入水。

11．根据1-10中任一权利要求的方法，其特征在于采用至少两个连续塔来纯化气体，塔的数量取决于所需的纯度值，在将离开一塔的顶部的需纯化气体溶解在高纯去离子水中之前，将其送入另一塔的底部。

12．根据1-11中任一权利要求的方法，其特征在于位于每一个纯化塔下的容器的体积为塔中填料可保留的液体量的2-5倍，从而限制通过溶解在清洗柱中损耗的气体的数量。

13．根据1-12中任一权利要求的方法，其特征在于废清洗液的清除速度大约为清洗速度的0．1-5％，所述废清洗液可连续地或相继地从每一个塔的收集器抽出。

14．根据1-13中任一权利要求的方法，其特征在于从一个塔到其它塔清洗废清洗液，使其逆流地与气体接触，从而限制清洗液中溶解的气体的损耗。

15．根据1-14中任一权利要求的方法，其特征在于用热交换器冷却清洗液。