[发明专利]无污染金属刻蚀方法及其装置

权利要求书

1.一种无酸污染的金属刻蚀方法，其特征是先在待加工金属板表面涂覆光致抗蚀剂，然后经干燥、感光、显影，再对金属表面进行电致刻蚀，即采用正极电连接待处理金属，负极由另一导电体构成，施加的直流电压范围是6-36V、其电流在15-300A；正负极之间通有导电盐溶液，且导电盐溶液在正负极之间形成一个流动的液流。

2.一种无酸污染的金属刻蚀的设备，包括导电盐溶液池、直流或脉动直流电源，与待处理金属连接的电源正极，与电源负极连接的导电电极，其特征是导电盐溶液中设有导电盐溶液驱动泵，电源负极制成一腔体、并与导电盐溶液泵的输出管相连，电源负极的表面制有多个导电盐溶液出液孔。

3.由权利要求1所述的无酸污染的金属刻蚀方法，其特征是所述导电盐溶液基本组成为：水、芒硝、硫酸钾、柠檬酸、食盐、适量表面活性剂。

4.由权利要求2所述的无酸污染的金属刻蚀设备，其特征是所述电源负极选用不锈钢材料制成，且表面为一平面，电源负极制成一腔体、制成一手动工作头；腔体与导电盐溶液泵的输出软管(8)相连接，还连接有电源连线(9)，腔体表面制有多个导电盐溶液出液孔(4)。

5.由权利要求2所述的无酸污染的金属刻蚀设备，其特征是电源负极的表面的框上设有绝缘层(7)，在电源负极中间设有绝缘带(6)，绝缘层和绝缘带的厚度为0.5-2mm，优选0.8-1.0mm。

6.由权利要求2所述的无酸污染的金属刻蚀设备，其特征是在其上的出液孔口部设有倒角(5)。