[发明专利]CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备

权利要求书

1、CVD/CVI工艺尾气处理方法与设备，其特征在于：采用油过滤、固体过滤和水过滤三级复合过滤的方法，对CVD/CVI工艺之前添加硅烷的外逸、工艺过程之中的尾气和工艺过程之后炉内残留硅烷和HCl气体进行处理，使尾气的排放达到环保标准。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用两级固体过滤器增加过滤效果、方便固体填料的更换和有效利用固体填料，固体填料采用的是NaOH和活性炭混合填料。

3、如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用两台机械泵交替工作和更换泵油的方法减小HCl气体对机械泵性能的影响，保持连续和稳定的抽气速率。

4、如权利要求1所述的方法，其特征在于：水过滤装置由水环泵、气水分离器和水箱组成，水箱中的NaOH溶液做为工作介质不断在水环泵中循环，与HCl气体充分混合后生成盐，在气水分离器中分离后盐溶液进入水箱，而H₂和Ar等无污染气体排入大气。

5、如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用掺气的方法解决水环泵高抽气速率和机械泵排气口只能处于微负压的难题，使一台机械泵工作时另一台机械泵不至于倒转，泵油不至于被抽出。

6、如权利要求1所述的方法，其特征在于：将掺气口与集气罩相连，在炉盖打开时对炉内残留硅烷和HCl气体进行处理，在CVD/CVI过程中对任何泄漏的硅烷和HCl气体进行及时处理。

7、如权利要求1所述的方法，其特征在于：用水环泵将硅烷从硅烷桶中抽入鼓泡罐。

8、如权利要求1所述的方法，其特征在于：油过滤器、固体过滤器、机械泵和水环泵组构成尾气处理设备。