[发明专利]铜及铜合金的微蚀剂无效
| 申请号： | 98115482.4 | 申请日： | 1998-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1209468A | 公开（公告）日： | 1999-03-03 |
| 发明（设计）人： | 山田康史;春田孝史 | 申请（专利权）人： | 美克株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H05K3/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 章鸣玉 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜合金 微蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1．一种铜及铜合金的微蚀剂，其特征在于，由含有1～50重量％硫酸、0.1～20重量％过氧化氢、以及0.0001～3重量％四唑或四唑衍生物中的至少一种的水溶液形成。
2．如权利要求1所述的微蚀剂，其特征还在于，前述四唑和四唑衍生物包括四唑、1-甲基四唑、2-甲基四唑、5-氨基四唑、5-氨基-1-甲基四唑、1-苯基四唑或5-苯基四唑。
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