[发明专利]倾斜补偿的感应电流位置传感器

权利要求书

1．一种倾斜补偿的感应电流位置传感器，包括：

至少包括一根沿测量轴排列的标尺元件的第一构件；

与所述第一构件相邻的并可相对其移动的第二构件；

位于所述第二构件，产生变化磁通量的至少一个磁场发生器；及

位于所述第二构件上的至少一个磁通量传感器；

其特征在于：

a)每个磁场发生器和b)每个磁通量传感器中有一个包括具有限定空间相位的空间调制部分；

所述的至少一个标尺对所述至少一个磁场发生器与所述至少一个磁通量传感器之间的有效磁通量耦合进行空间调制，每个磁通量传感器产生一输出，表示该磁通量传感器与所述至少一个磁通量标尺元件之间的相对位置；以及

每个空间调制部分包括至少一个倾斜平衡部分。

2．如权利要求1所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：所述的空间调制部分沿测量轴伸展并限定相对测量轴方向伸展的多个极性区域分布的有效磁通量耦合区，相邻极性区限定对输出信号的相反极性贡献。

3．如权利要求2所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：所述的倾斜平衡部分包括分布在极性区中的有效磁通量耦合区，使至少一个极性区中的总有效磁通量耦合面积不同于相邻极性区中的总有效磁通量耦合面积。

4．如权利要求3所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：在倾斜平衡部分中，所述的正极性区中的总有效磁通量耦合面积等于负极性区中的总有效磁通量耦合面积。

5．如权利要求2所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：

所述的倾斜平衡部分包括这样分布的有效磁通量耦合区，正极性区中的有效磁通量耦合区都具有第一形心轴；

负极性区中的有效磁通量耦合区都具有第二形心轴；以及

第一和第二形心轴位于第二构件上沿测量轴的相同位置。

6．如权利要求5所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：每个形心轴位于垂直测量轴的平面内并这样定位，当相同类型的极性区中所有有效磁通量耦合区的每个增加部分乘以带有符号的从该增加部分到形心轴的距离时，这些乘积的和等于零。

7．如权利要求2所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：极性区中的总有效磁通量耦合区是由与该极性区基本一致排列的K个导电回路中每个回路所环绕的有效磁通量耦合区之和确定的，这里，K是大于或等于零的整数。

8．如权利要求7所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：所有的导电回路具有相同的大小和形状，沿测量轴的长度与所述的至少一个标尺元件的长度基本相等。

9．如权利要求7所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：至少一个倾斜平衡部分包括N个具有零有效磁通量耦合面积的相邻极性区的至少一个子集，N为一奇数；所述的N个相邻极性区的至少一个子集被含有有效磁通量耦合区的极性区所束缚。

10．如权利要求7所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：在每一个至少一个倾斜平衡部分中有效磁通量耦合区的分布是关于垂直测量轴的对称平面对称的并沿测量轴位于包含在该倾斜平衡部分中的磁通量耦合区极值之间的中点。

11．如权利要求2所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：每个空间调制部分具有一个位于垂直测量轴平面内的形心轴，该形心这样定位，当有效磁通量耦合区的每个增加部分乘以带有符号的从该增加部分到形心轴的距离时，这些乘积的和等于零。

12．如权利要求11所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：所有空间调制部分的形心轴位于第二构件沿测量轴的相同位置上。

13．如权利要求1所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：在每一个至少一个倾斜平衡部分中有效磁通量耦合区的分布是关于垂直测量轴的对称平面对称的并位于包含在该倾斜平衡部分中的磁通量耦合区极值之间的中点。

14．如权利要求13所述的倾斜补偿的感应电流位置传感器，其特征在于：在每一个空间调制部分中有效磁通量耦合区的分布是关于垂直测量轴的对称平面对称的并位于包含在该空间调制部分中的磁通量耦合区极值之间的中点。