[发明专利]钽喷丝头表面等离子体强化技术无效
申请号: | 98117034.X | 申请日: | 1998-11-16 |
公开(公告)号: | CN1110579C | 公开(公告)日: | 2003-06-04 |
发明(设计)人: | 张德元;李放;陆德平;朱福如;许兰萍;彭文屹;罗文;张友亮;付青峰;邓鸣;蔡莉 | 申请(专利权)人: | 江西省科学院应用物理研究所 |
主分类号: | C23C8/36 | 分类号: | C23C8/36 |
代理公司: | 江西省专利事务所 | 代理人: | 马向红 |
地址: | 330029 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷丝头 表面 等离子体 强化 技术 | ||
【说明书】:
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