[发明专利]用于短波长光的负型光致抗蚀剂组合物及其形成图像的方法无效
| 申请号： | 98117484.1 | 申请日： | 1998-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1209570A | 公开（公告）日： | 1999-03-03 |
| 发明（设计）人： | 岩佐繁之;前田胜美;中野嘉一郎;长谷川悦雄 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/04 | 分类号： | G03F7/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王其灏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 波长 负型光致抗蚀剂 组合 及其 形成 图像 方法 | ||
1．一种负型光致抗蚀剂组合物，包括：
含有由化学通式(1)所示重复单元的聚合物；
由含有化学通式(2)所示官能团的化合物组成的交联剂；和
响应光而产酸的光-酸发生剂，
化学通式(1)中，R1是氢原子或甲基，R2是含有7-18碳原子并具有桥接的环烃基的亚烷基，且聚合物的重均分子量为1000-500000，并且
化学通式(2)中，R8是氢原子或者含有1-6碳原子的烷基或含有3-6碳原子的氧代烷基。
2．根据权利要求1的负型光致抗蚀剂组合物，还包含多元醇化合物。
3．根据权利要求1的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的聚合物是由化学通式(3)表示的聚合物，
化学通式(3)中，R1、R3和R6各自是氢原子或甲基，R2和R4各自是含有7-18碳原子并具有桥接的环烃基的亚烷基，R6是氢原子或含有1-12碳原子的烷基，x、y和z满足x+y+z=1、0＜x＜1、0＜y＜1且0≤z＜1，且聚合物的重均分子量为1000-500000。
4．根据权利要求1-3中任一权利要求的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的交联剂是由化学通式(4)表示的化合物，
化学通式(4)中，R8是氢原子、含有1-6碳原子的烷基或含有3-6碳原子的氧代烷基，而且a1=1或2、a2=1或2、b1=0或1、b2=0或1、a1+b1=2且a2+b2=2。
5．根据权利要求1-3中任一权利要求的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的交联剂是由化学通式(5)表示的化合物，
化学通式(5)中，R8是氢原子、含有1-6碳原子的烷基或含有3-6碳原子的氧代烷基，R9是氢原子、羟基、含有1-6碳原子的烷氧基或含有3-6碳原子的氧代烷氧基。
6．根据权利要求1-3中任一权利要求的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的交联剂是由化学通式(6)表示的化合物，
化学通式(6)中，R8是氢原子、含有1-6碳原子的烷基或含有3-6碳原子的氧代烷基，R9是氢原子、羟基、含有1-6碳原子的烷氧基或含有3-6碳原子的氧代烷氧基，R10是氧原子、硫原子、含有1-3碳原子的亚烷基或羟基亚甲基。
7．根据权利要求1-3中任一权利要求的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的交联剂是由化学通式(7)表示的化合物，
化学通式(7)中，R8是氢原子、含有1-6碳原子的烷基或含有3-6碳原子的氧代烷基。
8．根据权利要求1-3中任一权利要求的负型光致抗蚀剂组合物，其中所说的交联剂是由化学通式(8)表示的化合物，
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