[发明专利]装置检查方法和使用该方法的装置

说明书

本发明涉及一种装置的检查，特别是一种根据自检程序检查计算机控制类型的装置的方法，和使用该方法的装置。

在现有的根据检查程序检查诸如制造装置和测试装置之类的计算机控制类型装置的方法中，以预定频率用集合方式检查装置各部件的许多检查项目，例如一天两次。检查一般需要很长的时间，使得装置的操作时间缩短。因而需要一种较短检查时间的检查方法。

为了解决上述问题，迄今为止已经提出了各种检查装置的方法。日本专利申请公开公告(JP-A-Showa 63-204438)中表述了一种检查方法。在如图1B所示的这种现有方法中，用于检查一个计算机控制型制造或测试装置的检查程序是由象检查1至检查n这样的操作检查集60组成的。图1A是说明在测试装置中现有方法中每一操作检查的检查程序的流程图。当根据图1流程中所示检查程序执行每一检查程序时，可以在短时间内进行装置检查。

即，如图1A中所示，执行了一个简单检查(步骤50)。简单检查的检查程序是这样的方式确定的，使得检查项目的最典型检查被执行，或使用最典型数据的检查被执行。在简单检查中，即使不能明确地指出故障点，也能在短时间中检测出存在或不存在故障点。

在简单检查之后，确定是否要设定一个详细检查模式(步骤51)。只有在设定了详细模式时才执行详细检查(步骤52)。详细检查与简单检查的不同在于，对于每个不同操作使用不同的数据进行详细检查。尽管需要长的检查时间，但可以获得详细的检查结果。因此，详细检查的优势在于能够指出故障点。

根据上述现有方法，在通常的装置定期保养工作中和维修后的装置操作验证中仅进行简单检查，使得能够缩短检查时间。当可以用较长时间搜索任何故障点或在装置的改造之后验证装置的操作时，可以进行详细检查以补充简单检查。

以这种方式，在现有方法中，由于执行了最典型检查或执行了使用最典型数据的检查，因此可以在一短时间中进行简单检查。但是，在简单检查中存在着简单检查不能保证装置功能和操作特性的情况。

此外，在现有方法中，由于完全保证装置的功能和操作特性的详细检查需要较长的时间，因而存在装置操作时间减少的问题。这是由于完全保证可以由简单检查和详细检查共同完成。因此，基本上没有可能省略详细检查。

另外，存在着现有方法不能保证其中检测到任何故障的装置制造或测试的产品的质量的情况。这是由于没有考虑到检查时间间隔，所以在检测到故障时难于改正产品。因此，存在着把具有缺陷的产品提供到市场的可能性。

本发明是考虑到上述问题而作出的。因此，本发明的一个目的是要提供一种有效地进行自检以提供装置功能和操作特性的完全保证的测试装置的方法。

本发明的另一个目的是要提供一种能够提高由装置制造和测试的产品的可靠性的检查装置的方法。

本发明的再一个目的是要提供一种能够减少检查时间因而可以提高装置生产率的检查装置的方法。

为了完成本发明的一个方面，在检查一装置的一种方法中，一个装置的各部件的故障时间间隔被划分为多个故障时间间隔组，每个故障时间间隔组由一特定故障时间间隔指示。根据对应于多个检查程序中每个的部件的故障时间间隔，把多个检查程序分类成多个对应于多个故障时间间隔组的组。根据特定故障时间间隔确定多个组中的每一个的组执行时间间隔。然后，根据组执行时间间隔执行多个组中每一个的多个检查程序。

该方法可以还包括当组的多个检查程序中至少一个的执行结果指示是一个故障状态时，结束组的多个检查程序的执行的步骤。

上述步骤中，确定步骤可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中每一个组的组执行时间间隔，使得对应于较长特定故障时间间隔的组在较长的组执行时间间隔中执行。

确定步骤也可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中的每一个的组执行时间间隔，使得多个组中的每一个组的组执行时间间隔比多个组的组执行时间中最短的一个长一个正整数倍。

执行步骤也可以包括根据组执行时间间隔执行多个组中每个组的多个检查程序，使得以较短组执行时间间隔顺序执行多个检查程序。

此外，确定步骤可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中每个组的组执行时间间隔，使得多个组的最长的一个组执行时间间隔短于装置的最短的产品制造或测试时间。