[发明专利]使用整体X光透镜的位置灵敏X射线谱仪

权利要求书

1.一种使用整体X光透镜的位置灵敏X射线谱仪，包括X光源、样品、平面晶体、位置灵敏探测器及相应电子学系统和计算机多道分析系统，其特征在于：在X光源和样品之间加有一整体会聚X光透镜。

2.根据权利要求1所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：整体会聚X光透镜为一个单一的、没有支撑的多孔玻璃固体，内有多个从所述固体一端贯通到另一端的X光导孔，且该玻璃固体由上述X光导孔壁自身熔合而成，该透镜沿长度的外形母线和X光导孔外形的母线及X光导孔的轴线近似为空间二次曲线段、二次曲线段的组合或二次曲线段和直线段的组合，透镜的母线和X光导孔外形母线的径向变化对于假想的透镜X光轴线是对称的。

3.根据权利要求2所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述透镜的进口截面和出口截面尺寸小于最大截面尺寸。

4.根据权利要求3所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述透镜的进口端截面和X光导孔在与上述透镜光轴线垂直方向上的截面为正多边形或圆形或矩形，出口端截面与进口端截面形状相同。

5.根据权利要求4所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述X光导孔尺寸与上述透镜X光轴线相垂直的截面上不同部位处不同的大小。

6.根据权利要求3所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述透镜有实体密合包边。

7.根据权利要求3所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：X光源到透镜进口端的距离为10mm-200mm，X光透镜出口端到最小会聚束斑的距离为10mm-500mm，透镜长度为25mm-200mm，透镜进口端尺寸为1mm-30mm，透镜出口端尺寸为1mm-35mm，占空比大于5％。

8.根据权利要求1所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：在样品和平面晶体之间加有一一维平行X光聚束系统。

9.根据权利要求8所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述一维平行X光聚束系统是由多层相互间隔一定距离的有光滑表面的薄层组成，这些薄层在沿样品到平面晶体方向的母线近似为二次曲线段和直线段的组合，各层相对中间一层假想的平行于衍射面的平面是平面对称的。

10.根据权利要求9所述的位置灵敏X射线谱仪，其特征在于：上述一维平行X光聚束系统各层之间的间隔距离在沿样品到平面晶体方向上不同位置处是不同的，其入口端，即靠近样品一端的各层间隔较小，各层面假想的延伸面均通过样品靶点，其出口端，即靠近平面晶体一端的各层间隔较入口端的大，且各层均与晶体衍射平面平行，其相互间隔距离为数微米到数百微米。