[发明专利]气体检测方法及其装置

权利要求书

1．一种使其电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体气体传感器的温度变化，来检测气体的气体检测方法，其特征在于：

决定由在温度变化过程中的至少2个气体传感器构成的相位空间，在校准时，在多个检测对象气体浓度下，测定上述至少2个气体传感器信号，存储表示在该相位空间中已使检测对象气体的浓度变化了时的轨迹的数据；

在测定时，测定上述至少2个气体传感器信号，求出在该相位空间中的相位点，并根据从上述相位点向该所存储的轨迹上的投影和轨迹与相位点之间的距离，求气体浓度。

2．权利要求1所述的气体检测方法，其特征是：

在该相位空间中，决定由沿着上述轨迹的气体温度轴，和与气体传感器特性中的噪声对应的噪声轴构成的斜坐标系，

由从上述相位点与上述噪声轴平行地向上述气体浓度轴投影后的位置来求出气体浓度。

3．权利要求2所述的气体检测方法，其特征是：根据距气体浓度轴的距离，对投影进行限制。

4．权利要求1所述的气体检测方法，其特征是：决定用来检测共存气体的其它的相位空间，测定在该相位空间上的气体传感器信号的坐标。

5．一种使其电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体气体传感器的温度发生变化，以检测气体的气体检测装置，其特征在于设有：

用于决定由在温度变化过程中的至少2个气体传感器构成的相位空间，存储在校准时的，在多个检测对象气体浓度下的，在该相位空间中的相位点的轨迹的装置；

在测定时，测定上述至少2个气体传感器信号，求出在该相位空间中的相位点的装置；

根据从上述求出的相位点的上述所存储的轨迹的位置，求出气体浓度的装置。

6．权利要求5所述的气体检测装置，其特征是：

用于存储上述轨迹的装置，在上述相位空间中，决定并存储与检测对象气体的浓度对应的气体浓度轴和与气体传感器特性的噪声对应的噪声轴之间的斜交2轴；

用于求出上述气体浓度的装置，采用从上述所测定的相位点沿着噪声轴向浓度轴投影的办法，求出气体浓度。

7．一种在采用给应用了其电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体的气体传感器的加热器加上方波状的功率的办法，使金属氧化物半导体的温度在高温区和低温区间交替变化，从在低温区中的气体传感器信号中，检测出CO的CO检测装置，其特征在于设有：

用来在进行了从低温区向高温区的移动之后，对在已产生了金属氧化物半导体的电阻值的谷值后，且在金属氧化物半导体的温度达到在高温区的正常温度之前的、高温区初期的气体传感器信号进行采样的装置；

用来用采样后的高温区初期的传感器信号和低温区的气体传感器信号来检测CO的CO检测装置。