[发明专利]具有以亚模块方式集成的冷却器的功率半导体模块无效
申请号: | 98118368.9 | 申请日: | 1998-08-17 |
公开(公告)号: | CN1208960A | 公开(公告)日: | 1999-02-24 |
发明(设计)人: | P·埃特尔;A·斯图克;R·泽林格尔 | 申请(专利权)人: | ABB研究有限公司 |
主分类号: | H01L23/34 | 分类号: | H01L23/34;H01L23/46;H05K7/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,王忠忠 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 模块 方式 集成 冷却器 功率 半导体 | ||
1.功率半导体模块(1)具有许多亚模块(2),每个亚模块(2)分别具有至少一片材料连接固定在衬底(6)的上侧(6a)的半导体芯片(3),其中衬底(6)是电绝缘的、但具有良好的热传导,具有对半导体芯片(3)匹配的膨胀系数,
其特征为:
(a)亚模块(2)正好具有一衬底(6),后者具有由良好导热材料制成的一冷却器(7),以及
(b)冷却器(7)与衬底(6)的底面(6b)浇铸在一起。
2.根据权利要求1的功率半导体模块(1),其特征:冷却器(7)具有冷却体(7a)和/或冷却结构(7b)。
3.根据权利要求2的功率半导体模块(1),其特征为:冷却结构(7b)直接与衬底(6)一起浇铸并且具有针或筋。
4.根据权利要求2至3之一的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)冷却体(7a)由具有对衬底(6)匹配的膨胀系数的材料构成和/或
(b)冷却结构(7a)由具有对衬底(6)匹配的膨胀系数的材料或由金属构成。
5.根据权利要求4的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)衬底(6)由绝缘陶瓷构成;
(b)冷却体(7a)由金属陶瓷复合材料尤其是碳化硅构成;
(c)冷却结构(7a)由相同的复合材料或从属的金属构成;
6.根据权利要求2至5之一的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)亚模块(2)并排地安置在公共板或外壳上侧(8a)的空隙(9)里,和
(b)冷却器(7)指向同一面,尤其是指向外壳底面(8b)。
7.根据权利要求6的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)功率半导体模块(1)包含一外壳(8),用于包围冷却器(7)和冷却介质(10),和
(b)流体,尤其是水或气体用作冷却介质(10)。
8.根据权利要求7的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)外壳上侧(8a)在亚模块(2)的边缘区具有O环形式的密封件(11),厚胶连接或类似物,和
(b)外壳(8)具有引导冷却介质流的装置。
9.根据权利要求4至8之一的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)亚模块(2)具有最少的半导体芯片(3)的配件,尤其是带有一个功率二极管的一个IGBT,
(b)衬底(6)由AlN-,Al2O3-,SiC-或金刚石-陶瓷构成,
(c)冷却体(7a)由AlSiC,CuSiC或AlSi构成和或冷却结构(7b)由AlSiC,AlSi,铝或铜构成,和
(d)外壳(6)由介质材料,尤其是由塑料或由金属构成。
10.根据权利要求1至9之一的功率半导体模块(1),其特征为:
(a)功率半导体模块(1)具有电子控制线路(12),印制电路板(13)以及用于印制电路板(13)与亚模块(2)电连接的接触点(14),
(b)电子控制线路(12),印制电路板(13)和亚模块(2)集成在一公共的外壳(8)内,以及
(c)尤其是用于印制电路板(13)接触的附加母线汇流排(16)安置在个壳(8)内。
11.根据权利要求1至10之一的功率半导体模块(1),其特征为:根据权利要求1至10之一的两功率半导体模块(1)彼此镜面对称安置,具有一公共的冷却器(7)并且安放在一公共的外壳(8)内。
12.根据权利要求1至11之一的功率半导体模块(1),其特征为:亚模块(2)的数目根据功率半导体模块(1)所要求的开关功率的标准选择。
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