[发明专利]动态随机存取存储器中减少光学近距效应的位线图案有效
| 申请号： | 98118553.3 | 申请日： | 1998-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1118827C | 公开（公告）日： | 2003-08-20 |
| 发明（设计）人： | 周岳霖 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G11C11/34 | 分类号： | G11C11/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 台湾省新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 动态 随机存取存储器 减少 光学 近距 效应 线图 | ||
【权利要求书】：
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