[发明专利]一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺

权利要求书

1、一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，其特征是：磷酸含量为30-60％，硫酸含量为20-40％，乙二醇含量为0.3-3％，聚乙二醇含量为1-3％，全氟表面活性剂为10-50PPM，乙二胺四乙酸含量为1-5％，LAN826含量为0.25-0.6％，水含量为12-25％。

2、根据权利要求1中所述的一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，其特征为：各组分的最佳比例：磷酸含量为40％、硫酸含量为30％、乙二醇含量为3％、聚乙二醇含量为2％、全氟表面活性剂为30PPM、乙二胺四乙酸含量为3％、LAN826为0.4％、水含量为22％。

3、根据权利要求1中所述的一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，通过电源把被处理工件作为正极，以惰性材料作为负极，正、负极浸入电解液中，其特征为电源采用脉冲电源。

4、根据权利要求3中所述的一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，其特征为：脉冲电源的脉冲比大于等于2∶1，小于等于10∶1。

5、根据权利要求3中所述的一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，其特征为操作电流密度为5-300A/dm²。

6、根据权利要求3中所述的一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺，其特征为操作温度范围为5-120℃。