[发明专利]振动陀螺仪及其调节方法

权利要求书

1.一种振动陀螺仪，其特征在于，包括：

柱状振动器，该振动器包括第一和第二压电基片，它们沿各自的厚度方向以相互相反的方向极化，每个所述基片具有第一和第二主表面，并分别沿各自的第一主表面互相层叠；两个分隔电极，它们形成在所述第一压电基片的第二主表面上，并且沿垂直于所述第一压电基片纵向的方向隔开；以及共用电极，它形成在所述第二压电基片的第二主表面上；

驱动器，用于沿所述第一和第二压电基片的厚度方向驱动振动器，所述驱动器连接在所述分隔电极和所述共用电极之间；以及

检测器，用于检测由所述振动器的弯曲振动引起的位移，所述检测器连接至所述分隔电极；

其中，分隔电极和共用电极中至少有一个电极被去除一部分，致使所述振动器沿两条对角线方向具有大体上相等的谐振频率，所述两条对角线方向对角地连接所述振动器沿纵向延伸的四条边。

2.如权利要求1所述的振动陀螺仪，其特征在于，在沿所述振动器的驱动方向的谐振频率和沿检测方向的谐振频率之间的差值是一个预定值，所述检测方向大体上与所述振动器的驱动方向正交。

3.如权利要求2所述的振动陀螺仪，其特征在于，所述预定值在20至50Hz的范围内。

4.如权利要求3所述的振动陀螺仪，其特征在于，沿所述振动器的驱动方向的谐振频率低于沿所述振动器的检测方向的谐振频率。

5.一种调节柱状振动器的方法，所述柱状振动器包括第一和第二压电基片，它们沿各自的厚度方向相互以相反的方向极化；每个所述基片具有第一和第二主表面，沿所述基片的各自所述第一主表面将所述基片互相层叠；两个分隔电极，它们形成在所述第一压电基片的第二主表面上，并且沿与所述第一压电基片的纵向垂直的方向隔开；以及共用电极，它形成在所述第二压电基片的第二主表面上；其特征在于，所述方法包括刻蚀所述分隔电极和所述共用电极的至少一个电极的一部分的步骤，从而所述振动器沿两条对角线方向具有大体上相等的谐振频率，所述两条对角线方向对角地连接所述振动器沿纵向延伸的四条边。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括通过进一步刻蚀所述分隔电极和所述共用电极的至少一个电极的一部分把沿所述振动器驱动方向的谐振频率和沿所述振动器检测方向的谐振频率之间的差值调节至一个预定值的步骤，所述检测方向大体上与所述驱动方向正交。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述预定值在20至50Hz的范围内选择。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，沿所述振动器驱动方向的谐振频率低于沿所述振动器检测方向的谐振频率。

9.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述刻蚀步骤之前，还包括下述步骤：

在设置所述分隔电极和所述共用电极的至少一个电极的位置上，向所述振动器提供支承件，所述位置在所述振动器振动时产生的节点附近；以及

藉助于所述支承件，通过将所述支承件的一端附着于框状基座，把所述振动器固定至所述基座。