[发明专利]磁头及其制造方法

说明书

本发明涉及具有安装在如硬盘等装置上的滑块的磁头，特别涉及一种在安装于前述滑块上的薄膜元件的磁芯层表面上，能够直接形成一个碳膜，并可减少空隙损耗的磁头及其制造方法。

图4为表示安装在硬盘等上的现有的磁头的截面图，它是使与记录媒体相对的面朝上表示的。

在这个磁头中，相对于硬盘的移动方向的上游端A称为引导端，下游端B称为从动端。

图4所示的符号1为由陶瓷材料等制成的滑块，在前述滑块1的与硬盘相对的部分上，形成相对表面5(浮起表面：ABS面)。如图所示，这个相对表面5加工成具有给定曲率的凸面形状。另外，在该相对表面5的引导端A上，做出倾斜表面6。

如图4所示，在滑块1的从动端B的端部2上，设有薄膜元件3和用于覆盖该薄膜元件3的保护层8。有关前述薄膜元件3的结构，将在后面详细说明。

又如图4所示，在前述相对表面5和与记录媒体相对的薄膜元件3的表面上，形成由SiO₂或Si制成的基底层9，在前述基底层9上还形成了碳膜10。

这个碳膜10为担负作为保护层任务的层。通过形成前述碳膜10，例如，可以防止薄膜元件3的表面腐蚀，又假如即使磁头与记录媒体碰撞，借助该碳膜10，前述薄膜元件3的表面和相对表面5也不易磨损。

图2表示设在滑块1的从动端端部2上的薄膜元件3的结构，它是在图4所示的箭头‖方向看的立体图。另外，在图2上没有表示图4所示的基底层9，碳膜10和保护层8。

如图2所示，在从动端端面2上，形成由NiFe系合金(坡莫合金)等制成的下部屏蔽层11。在该下部屏蔽层11上，通过下部间隙层(图中未示)，形成一个磁阻效应元件层12，再在该磁阻效应元件层12上，通过上部屏蔽层(图中未示)，形成由NiFe系合金等制成的下部磁芯层(上部屏蔽层)13。

在前述下部磁芯层13上，通过间隙层(图中未示)，呈螺旋状地构成线圈层14。另外，在前述线圈层14上，通过绝缘层(图中未示)等，形成上部磁芯层15。前述上部磁芯层15，与下部磁芯层13同样，也是由NiFe系合金等磁性材料制成。

如图2所示，前述上部磁芯层15的前端部分，通过磁隙G，与下部磁芯层13相对，而前述上部磁芯层15的基端部分15a与前述下部磁芯层13接合。

这个薄膜元件3为从其下部屏蔽层11至下部磁芯层(上部屏蔽层)13的多层膜，利用磁阻效应，检测从硬盘等记录媒体发出的泄漏磁场，读取磁性信号的MR头(读出头)。在这个MR头上，层叠着由从下部磁芯层13至上部磁芯层15的多层膜构成的电感磁头(写入磁头)。

图4所示的磁头的滑块1支承在固定于负载横梁顶端的弯曲部分上。滑块1利用由板弹簧构成的负载横梁的弹力靠在硬盘上。这种磁头可在所谓的CSS(接触，开始，停止)方式的硬盘装置上使用。当硬盘停止时，前述弹力，使滑块1的相对表面5与硬盘的记录表面接触。当硬盘开始运动时，空气流沿着硬盘的移动方向，被导入滑块1和硬盘表面之间，相对表面5受到空气流引起的浮力作用因此，滑块1从硬盘表面只浮起一小段距离。

在浮起姿势方面，引导端A比从动端B在硬盘上保持高位的倾斜的浮起姿势。在这个浮起姿势下，利用图2所示的薄膜元件3的下部磁芯层13和上部磁芯层15之间产生的泄漏磁场，可将记录信号写入硬盘，或者，利用前述薄膜元件3的磁阻效应元件层12，检测从硬盘发出的磁性信号。

可是，在现有的技术中，在滑块1的相对表面5和薄膜元件3的表面上，通过基底层9，形成了作为保护层的碳膜10。然而，假如不设置前述基底层9，而直接在薄膜元件3的表面上形成碳膜10时，则碳膜10会剥离，并且，前述碳膜10不能均匀地形成，而是在前述碳膜10的表面上，形成凹凸部分，或者，前述碳膜10变成斑状等，这些都是不好的。

这些不好的情况是由薄膜元件3的磁芯层表面的晶体结构引起的。如上所述，图2所示的下部磁芯层13和上部磁芯层15，由NiFe系合金制成，当用X射线衍射研究前述磁芯层13,15的晶体结构时发现，在磁芯层13,15的内部，是以γ相(面心立方晶格)为主体，而在前述磁芯层13,15的表面，则是以α相(体心立方晶格)为主体的。这种α相的膜非常厚，前述膜厚最大可达200微米。

这样，当磁芯层13,15的表面的晶体结构是由膜厚较厚的α相构成时，在前述磁芯层13,15的表面上直接形成碳膜10的情况下，在前述α相和碳膜10之间，会产生异常的扩散。因此，前述碳膜10的膜厚就不均匀，还会产生前述碳膜10剥离等问题。