[发明专利]制备结构化保护层和绝缘层的方法有效
申请号: | 98119614.4 | 申请日: | 1998-09-17 |
公开(公告)号: | CN1109361C | 公开(公告)日: | 2003-05-21 |
发明(设计)人: | 埃瓦尔德·冈瑟;雷凯·赛兹;迈克尔·D·基特曼 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;G03F7/038;G03F7/20;H01L21/312 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 范明娥 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 结构 保护层 绝缘 方法 | ||
【权利要求书】:
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