[发明专利]射频匹配网络的模糊逻辑调谐

权利要求书

1．一种调配以下类型的RF匹配网络(22)的模糊逻辑方法，所述类型的RF匹配网络具有加载给定频率和给定阻抗的RF功率的输入端，以及将所述功率加载到具有非恒定阻抗的RF负载(20)的输出端，所述匹配网络包括相位-幅度误差检测装置(24)，后者提供分别相关于阻抗相角误差和阻抗幅度误差的相位误差信号和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)，所述匹配网络至少包括具有用来改变其阻抗的驱动元件的第一可变阻抗(C1)，以及具有用来改变其阻抗的驱动元件的第二可变阻抗(C2)，其特征在于所述方法包括：

向模糊逻辑控制器(26)提供所述相位误差信号和所述幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)，其中每一个所述误差信号具有幅度和方向；

根据多个重叠模糊集，将每个所述误差信号(ΔΦ,ΔZ)加到模糊逻辑推理函数内，这里所述误差信号的值享有一个或多个模糊集的从属关系；

根据所述第一和第二误差信号享有其从属关系的模糊集，将模糊逻辑规则加到所述相位误差和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)；

根据用于每个相位误差信号和幅度误差信号的所述模糊逻辑规则，得出各驱动信号值；

根据所述误差信号享有其从属关系的各模糊推理函数将所述驱动信号值加权；

将加权后的驱动信号值组合，产生所述第一可变阻抗装置驱动元件(M1)的输出驱动信号(CS1)。

2．根据权利要求1的调配RF匹配网络的模糊逻辑方法，其特征在于还包括：

根据用于所述第一和第二误差信号(ΔΦ,ΔZ)中的每一种信号的另外的各模糊逻辑规则，得出各驱动信号值；

根据另外的各自的模糊推理函数将所述驱动信号值加权；以及

将加权后的驱动信号值组合，产生所述第二可变阻抗装置驱动元件(M2)的输出驱动信号(CS2)。

3．根据权利要求2的调配RF匹配网络的模糊逻辑方法，其特征在于：所述模糊逻辑规则包括N×M驱动电流值矩阵，其中N是所述第一误差信号的模糊集的数量，而M是所述第二误差信号的模糊集的数量，并且，每个驱动信号值对应于所述第一误差信号的给定集和所述第二误差信号的给定集。

4．根据权利要求1的调配RF匹配网络的模糊逻辑方法，其特征在于：所述各模糊集分别以下面的值为中心：零；中、正值；中、负值；大、正值；以及大、负值。

5．一种用来调配RF匹配网络(22)的模糊逻辑控制器(26)，其中，所述匹配网络位于所加的给定频率和给定阻抗的RF功率的源(12)与具有非恒定阻抗的RF负载(20)之间，所述匹配网络(22)包括提供分别相关于阻抗相角误差和阻抗幅度误差的相位误差信号和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)的相位-幅度误差检测装置(24)，所述匹配网络(22)还至少包括具有用来改变其阻抗的驱动元件的第一可变阻抗(C1)以及具有用来改变其阻抗的驱动元件的第二可变阻抗(C2)；模糊逻辑控制器包括接收所述相位误差信号和幅度误差信号的值的输入装置；其特征在于：

输入部分(29)根据一些重叠模糊集(30,32,34)将所述误差信号的值加到模糊逻辑推理函数，其中误差信号(ΔΦ,ΔZ)的值享有一个或多个模糊集的从属关系；第二部分(34)根据所述误差信号享有其从属关系的模糊集将模糊逻辑规则加到所述相位误差信号和幅度误差信号；第三部分(35)根据所述误差信号享有其从属关系的每个集的所述模糊逻辑规则得出驱动信号值；根据所述误差信号的值的各自的模糊推理函数将所述驱动信号值加权；以及将所述加权后的驱动信号值组合，产生所述第一可变阻抗装置驱动元件的输出驱动信号(CS1)。

6．根据权利要求5的模糊逻辑控制器，其特征在于还包括：根据用于所述相位误差信号和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)中的每一种信号的另外的模糊逻辑规则获得另外的驱动信号值(CS2)的装置；所述第三部分根据另外的各自的模糊推理函数将所述另外的驱动信号值加权；将这些加权后的驱动信号值组合，产生所述第二可变阻抗装置驱动元件(CS2)的输出驱动信号。