[发明专利]用于制造半导体器件的显影系统及其控制方法无效
| 申请号： | 98120040.0 | 申请日： | 1998-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1125376C | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 安雄宽;金东浩 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 半导体器件 显影 系统 及其 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
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