[发明专利]大致平的片状衬底的镀膜装置

权利要求书

1．借助阴极溅射工艺给大致平的片状衬底(3,3’...)镀膜的装置，该装置带有一个圆柱形运送腔(7)，运送腔由一个圆板形的盖(4)，一个在相对于盖平行的平面内延伸的底板(5)和一个将此两部分耐压并在彼此间保持距离的，环形的，构成运送腔(7)侧壁的壳体部分(6)组成，该装置带有一个联接在运送腔(7)上的真空泵(8)，带有一个位于运送腔(7)的盖(4)上，可由板(16)关闭的用于衬底(3,3’)的引入和导出的开口(9)，带有一个与盖(4)联接，含有阴极(10)，借助盖(4)上的开口(23)与运送空间(19)相联的镀膜腔(11)和一个位于运送空间(19)内可回转的衬底托盘(12)，其特征在于，衬底托盘(12)和电机减速机单元(14)的驱动轴(13)相联，一方面托盘在运送空间(19)内，由一个中间的工作位置(A)能够以垂直的升降运动方式移到一个上部的镀膜位置(B)并回落到一个下部的初始位置(C)，另一方面驱动轴(13)可在运送空间(19)内回转，同时真空泵(8)的进气管(15)位于运送空间(19)的底部(5)，并且衬底托盘(12)在初始位置(C)时可将进气管关闭。

2．如权利要求1所述的装置，其特征在于，用于衬底(3,3’)的引入和导出的开口(9)开在运送腔(7)的盖(4)上或者在与其相应的闸门腔(21)上设有用于预抽气真空泵的接头(25)。

3．如权利要求1所述的装置，其特征在于，用于镀膜腔(11)的盖(4)上的开口(23)通过一构成旁路的通道(24)与运送腔(18)相连通。

4．如权利要求1所述的装置，其特征在于，镀膜腔(11)和运送腔(7)以可拆卸的方式相联接。