[发明专利]一种湿度传感器及其制造方法

权利要求书

1、一种湿度传感器，其特征在于它由两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器组合而成。

2、如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于其中所述的两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器的扩散孔同向布置，且两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器并列。

3、如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于其中所述的两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器的扩散孔背向布置，且所述两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器采用背靠背方式。

4、一种上述湿度传感器的制造方法，首先采用如下制作氧传感器的步骤：用模具成形压制氧化锆薄片，将氧化锆薄片放在高温烧结炉中烧结，取出冷却，然后在薄片上制一个扩散孔2，然后在薄片两侧印刷第一电极3，第一电极4，其特征在于将两个具有扩散孔和电极的氧化锆薄片上的电极4用同一个盖件5覆盖，并将所述盖件与对应电极所在的氧化锆薄片分别密封连接，在盖件5与电极4之间形成扩散室6，扩散室通过氧化锆薄片上的扩散孔与外界相通。

5、如权利要求4所述一种湿度传感器的制造方法，其特征在于将两个具有扩散孔和电极的氧化锆薄片在盖件同侧并列进行密封连接。

6、如权利要求4所述一种湿度传感器的制造方法，其特征在于将两个具有扩散孔和电极的氧化锆薄片在盖件异侧对称放置进行密封连接。

7、如权利要求4所述一种湿度传感器制造方法，其特征在于其中制作氧化锆薄片所用模具为钢模。

8、如权利要求4所述一种显示传感器制造方法，其特征在于其中制作扩散孔的方式为激光打孔，孔径为20～35μm。

9、如权利要求4所述一种湿度传感器制造方法，其特征在于其中氧化锆基片的烧结温度为1400～1600℃，保温4～8小时，然后在基片两侧用铂浆料印刷电极。

10、如权利要求4所述一种湿度传感器制造方法，其特征在于其中盖件是氧化锆陶瓷薄片，且盖件与具有扩散孔和电极的氧化锆薄片间采用玻璃釉质密封粘接。