[发明专利]集成式多元压电变形反射镜无效
| 申请号： | 98124036.4 | 申请日： | 1998-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1258854A | 公开（公告）日： | 2000-07-05 |
| 发明（设计）人： | 凌宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 多元 压电 变形 反射 | ||
【权利要求书】：
1、集成式多元压电变形反射镜，连续镜面反射镜与高刚度平板之间固定有受放大器电信号驱动的压电驱动器，其特征在于连续镜面反射镜(1)与高刚度平板(3)之间固定的是一个能构成若干作用单元的压电驱动器(2)，压电驱动器(2)由若干片压电陶瓷片叠加粘接而成，一片压电陶瓷片的正极上，在每一个对应的相同位置处有代表驱动器每一个作用单元的寻址电极(4)和寻址导线(5)，各作用单元的寻址电极(4)通过寻址导线(5)对应并联，各压电陶瓷片背面的公共负极(6)也并联，压电陶瓷片的片数与驱动器要求的变形量成正比。
2、如权利要求1所述的集成式多元压电变形反射镜，其特征在于驱动器(1)的每一片压电陶瓷片的正极上，在每一个对应的相同位置处有对应相同形状的代表驱动器每一个作用单元的寻址电极(4)和寻址导线(5)。
3、如权利要求1或2所述的小型集成式多元压电变形反射镜，其特征在于每一个寻址导线(5)的末端均置于压电陶瓷片的边缘。
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