[发明专利]共聚物树脂,其制备方法及用其制成的光阻剂

权利要求书

1．一种下列式Ⅲ所示的化合物：

   [式Ⅲ]

2．一种制备式Ⅲ化合物的方法，其包括步骤：

(a)于传统有机溶剂中反应环戊二烯及1,4-二-叔丁基反丁烯二酸酯；及

(b)除去该有机溶剂。

3．一种包括下列式Ⅲ所示单体的聚合物：

   [式Ⅲ]

4．根据权利要求3的共聚物，其包括顺丁烯二酸酐作为第二单体。

5．根据权利要求2或3的共聚物，其包括选择自2-羟基乙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯及2-羟基丙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯所组成的化合物或化合物混合物以作为第三单体。

6．根据权利要求2至4的共聚物，其包括选择自5-降冰片烯-2-羧酸及单-甲基-顺-5-降冰片烯-内向-2,3-二羧酸的化合物或化合物混合物作为第四单体。

7．根据权利要求6的共聚物，其中该共聚物为选择自下列式Ⅳ至Ⅶ所示化合物：

  [式Ⅳ]

  [式Ⅴ]

  [式Ⅵ]

   [式Ⅶ]

8．根据权利要求7的共聚物，其中该共聚物的分子量为3,000至100,000，且x∶y∶z的摩尔比例为(0.001-99％)∶(0-99％)∶(0-99％)。

9．一种制备作为光阻剂的共聚物的方法，其包括在传统聚合引发剂存在下，反应下列式Ⅲ所示的单体及顺丁烯二酸酐的聚合步骤：

10．根据权利要求9的制备作为光阻剂的共聚物的方法，其中加入选择自2-羟基乙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯及2-羟基丙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯中的化合物或其混合物作为第三单体的化合物或化合物混合物以进行聚合反应。

11．根据权利要求9或10的制备作为光阻剂的共聚物的方法，其中加入选择自2-羟基乙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯及2-羟基丙基-5-降冰片烯-2-羧酸酯中的化合物或其混合物作为第四单体的化合物或化合物混合物以进行聚合反应。

12．根据权利要求9的制备作为光阻剂的共聚物的方法，其中该聚合引发剂为选择自苯醯化过氧、2,2’-偶氮基双异丁腈、过氧化乙酰，过氧化月桂酰、叔丁基乙酸酯及过氧化二叔丁酰中的化合物或化合物混合物。

13．根据权利要求9的制备作为光阻剂的共聚物的方法，其中该聚合作用溶剂为选择自环己酮、甲基乙基酮、苯、甲苯、二噁烷及二甲基甲醯胺中的溶剂或溶剂混合物。

14．一种光阻剂混合物，其包括包含下列式Ⅲ所示的单体，有机溶剂及无机酸发生剂的共聚物：

15．根据权利要求14的光阻剂组合物，其中该共聚物是选择自下列式Ⅳ至Ⅶ所示化合物：

  [式Ⅵ]

[式Ⅴ]

[式Ⅵ]

[式Ⅶ]

16．根据权利要求15的光阻剂组合物，其中该无机酸发生剂为三苯基三倍酸锍或二丁基萘基三倍酸锍。

17．根据权利要求15的光阻剂组合物，其中该有机溶剂是选择自3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、环己酮及丙二醇甲基醚乙酸酯。

18．一种制备光阻剂组合物的方法，其包括步骤：

(a)溶解包含下列式Ⅲ所示单体的共聚物于传统的有机溶剂中；

(b)加入无机酸发生剂于该生成溶液中且搅拌该生成混合物；

(c)过滤该生成混合物

     [式Ⅲ]

19．根据权利要求18的制备光阻剂组合物的方法，该使用的有机溶剂按共聚物为200至1000重量％。

20．根据权利要求18的制备光阻剂组合物的方法，该使用的无机酸发生剂按共聚物计为0.1至10重量％。