[发明专利]大功率电子束的驱动方法有效
| 申请号： | 98126993.1 | 申请日： | 1998-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1165951C | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | M·巴赫;E·劳克斯 | 申请（专利权）人： | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/32;C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马铁良;王忠忠 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大功率 电子束 驱动 方法 | ||
【权利要求书】：
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