[实用新型]批量生产CVD金刚石片的灯丝工装

说明书

本实用新型涉及一种热丝CVD法制备金刚石装配灯丝的装置，是批量生产CVD金刚石片的灯丝工装。

热丝CVD法制备金刚石膜，需在真空系统中的电极上装配数根灯丝，但是，没有特殊的工装，灯丝在高温下工作产生形变，使工作参数不稳定，停电时灯丝断裂，装配费时，重复性差，不能满足批量生产的要求。

本实用新型的目的是提供一种批量生产CVD金刚石片的灯丝工装，装配省时，重复性好，工作时使灯丝永远处于直线状态，因此工作参数稳定，停电时灯丝不断裂，只要真空系统不暴露大气，来电时可继续工作。

本实用新型的目的是这样实现的：用“固定电极组件”和“活动电极组件”架设灯丝，其中“活动电极组件”由活动电极体和滑块组成，滑块可以在活动电极体上滑动并通过弹簧保证与电极体接触良好，用牵引弹簧拉紧滑块；用两块电极定位板将“固定电极组件”和“活动电极组件”联结在一起，在两块电极定位板之间安装灯丝定位板，可保证灯丝安装的重复性。这样就将两快电极架设的灯丝构成一个“灯丝总成”。以上工作是在支架上完成的，然后，“灯丝总成”移到真空系统的电极柱上，卸掉灯丝定位板和电极定位板。工作时，灯丝受热膨胀推动滑块在活动电极体上移动，所产生的微小位移可用来抵消灯丝因膨胀所产生的伸长量，这样可以使灯丝始终保持直线状态。停电时，灯丝收缩产生一个力作用在滑块上，使滑块向回运动，灯丝恢复原状，保证灯丝不断裂。

由于采用上述方案，可以使灯丝在工作中始终保持直线状态，使工作参数稳定，停电时灯丝不断裂，采用了定位部件，装配简单，重复性好。

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构原理图。

图2是灯丝工装第二个实施例的活动电极组件横剖面构造图。

图中1、灯丝固定螺栓 2、固定电极块固定螺栓 3、固定电极垫固定螺栓 4、固定电极垫 5、电极定位板 6、固定电极体 7、托板8、支柱 9、支架底板 10、固定电极块 11、灯丝压板 12、灯丝13、灯丝定位板 14、地角螺栓 15、拉紧杆 16、电极固定螺母17、电极定位板固定螺栓 18、灯丝定位板固定螺栓 19、滑块拉紧弹簧20、垫片 21、拉力调节螺母 22、拉紧杆固定螺母 23、活动电极块固定螺栓 24、活动电极块 25、牵引板 26、牵引力调节螺母 27、牵引弹簧 28、牵引杆 29、牵引板固定螺栓 30、活动电极垫 31、活动电极体 32、软线固定螺栓

在图1中，用固定电极块固定螺栓(2)和固定电极垫固定螺栓(3)将固定电极垫(4)、固定电极块(10)和固定电极体(6)联结在一起，构成“固定电极组件”。用活动电极块固定螺栓(23)和拉紧杆(15)以及拉紧杆固定螺母(22)将活动电极块(24)和活动电极垫(30)固定在一起构成“滑块”，再用滑块拉紧弹簧(19)、垫片(20)和拉力调节螺母(21)将“滑块”和活动电极体(31)联结在一起，用牵引板固定螺栓(29)将牵引板(25)固定在活动电极体(31)上，然后，通过牵引杆(28)牵引弹簧(27)和牵引力调节螺母(26)将“滑块”与牵引板(25)联结在一起，用一根软裸导线将“滑块”和电极体(31)连起来，导线一端通过活动电极固定螺栓(23)固定在“滑块”上，另一端用软线固定螺栓(32)固定在活动电极体(31)上，至此构成一个“活动电极组件”。将支架底板(9)、支柱(8)和地角螺栓(14)组装在一起，构成“支架”。将托板(7)放在支柱(8)上，然后再把“固定电极组件”和“活动电极组件”分别放在托板(7)上，用电极固定螺母(16)固定住，再用电极定位板(5)和电极定位板固定螺栓(17)将“固定电极组件”和“活动电极组件”联结起来，同时，用灯丝定位板固定螺栓(18)将灯丝定位板(13)固定到电极定位板(5)上，通过灯丝定位板(13)所提供的沟槽排好灯丝(12)，用灯丝压板(11)和灯丝固定螺栓(1)将灯丝(12)的两端分别固定在固定电极组件和活动电极组件上。这样保证了良好的重复性。卸掉灯丝定位板(13)和电极固定螺母(16)，将这已装配好的“灯丝总成”移到真空系统的电极柱上，用电极固定螺母(16)固紧，板卸掉电极定位板(5)，至此，灯丝的安装工作全部完成，操作简单。此外，固定电极块(10)、活动电极块(24)和灯丝压(11)均用钼做成，经久耐用。