[实用新型]真空镀膜室的薄壳结构

说明书

本实用新型涉及一种用于玻璃镀膜的真空镀膜室结构，特别是涉及一种能在高温下(250℃～350℃)实现磁控溅射工艺制备液晶显示器件用透明导电材料的真空镀膜室的薄壳结构。

大型连续自动化真空镀膜设备均由若干个盒型真空室串联而成，并采用直立方式传输，用于在多种基体上镀膜，如在用于液晶显示的玻璃上镀导电膜等。目前国内外在立式盒形壳体真空镀膜室的结构设计方面，大多采用中厚板(厚度约在20～30mm)焊接成盒形壳体。为防止设备在高温下(其中介面温度达450℃)所耐受压力载荷达1万工程大气压/M²时产生变形，通常在壳体外壁上敷设实心加强筋以达到补强目的。它们的明显缺陷是中厚板壳体的制造工艺复杂，耗费金属材料多，生产成本高。此外，现有真空镀膜室的冷却水道大都敷设于壳体外壁上，其冷却效果较差，还影响设备整体造型的美观。

本实用新型就是针对目前真空镀膜室结构上的不足进行了改进，其目在于提供一种能大幅度节省金属材料，减轻设备重量，降低生产成本，提高水冷却效率的真空镀膜室的薄壳结构。

本实用新型的目的是按如下方式实现的：

真空镀膜室的薄壳结构包括壳体11、门框12、法兰2及门体3，其上敷设有加强筋4和冷却水道5，其特征在于壳体11是由薄钢板经折边而成的由顶板、背板及底板所围成的三面体和两个连接短边构成的一体化结构，壳体11与门框12连接构成盒形壳体1，盒形壳体两侧装有法兰2，其前部装有拱形门体3，加强筋2和冷却水道3并设于盒形壳体内、外。

所述的薄钢板的厚度为4～6mm。

在盒形壳体1的顶板及底板内壁上设有条形加强筋41，在背板的内、外壁上设有U形槽筋42、43，顶板外壁上和背板外壁上的槽筋内设有冷却水道51、52，门框12密封部位的内侧周边焊接有筋体同水道合一的实体筋44、53，在法兰的密封部位也敷设有冷却水道54，拱形门体3的内侧也敷设有冷却水道55。盒形壳体1是由壳体11的连接短边同焊有实体筋44的门框12搭接之后以二条平焊缝焊成一体。盒形壳体外壁上的U形槽筋43呈竖向排列并焊接固定于外壁上，其内壁上的U形槽筋42则呈横向焊接固定于内壁上，其顶板和底板上的条形加强筋41也呈横向焊接固定于内壁上。

从理论上讲，真空室薄壳应满足下列条件：

                     S/D_s≤0.04

其中S-壳体壁厚(mm)

    D_s-壳体内径

本实用新型正是按照上述条件设计的。

本实用新型将现有的真空镀膜室厚壁结构改为薄壁敷筋结构，并采用折边工艺将薄钢板加工成一体化的薄壁壳体结构，不但保证了稳定的盒体设计，而且采用薄板后，可节约1/3的金属材料，并因此大大减轻了设备重量，也使生产成本大大降低。同时，将原来壳体制造中的四条角焊缝变为两条平焊缝，大大改善了焊接难度，可更加有效地控制焊接变形。此外，在壳体内外同时敷设冷却水道，可使来自加热器的幅射热量直接被冷却水道带走，提高了散热效率。

图1是本实用新型正面立体示意图。

图2是本实用新型背侧立体示意图。

图3是本实用新型主视图。

图4是本实用新型俯视图。

图5是本实用新型侧视图。

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

如附图2～4所示，本实用新型包括壳体11、门框12、法兰2及门体3。壳体1由厚度为5mm的薄钢板经折边加工折出顶板、底板、背板及两条短边所围成的三面体，使之形成一体化的结构，壳体11的连接短边同焊有实体筋44的门框12搭接之后以二条平焊缝焊接构成盒形壳体1。盒形壳体两侧焊接有法兰2，并在其前部装有拱形门体3，就构成了薄壳型真空镀膜室体。在盒形壳体1的内、外壁上均敷设有加强筋4和冷却水道5，其中在壳体11的顶板及底板内壁上焊接有若干横向条形加强筋41，分别用于吊装加热器和固定分流罩，在背板的内壁上焊接有两条横向U形槽筋42，分别用于安装热辐射屏和导向装置。在背板的外壁上焊接有若干竖向排列的U形槽筋43，其作用除了补强外，还可暗藏冷却水道。为了将加热器的辐射热量导出真空室，在顶板外壁上敷设有方形焊接冷却水道51，在背板外壁上的各槽筋内压接有冷却水管52，该冷却水管内藏于U形槽筋内使结构更加紧凑，并使外观整洁美观。在门框12密封部位的内侧周边焊接有实体筋44，实体筋内开有水槽53，因此实体筋44既用于稳固门框，又用作门框密封圈的水冷却。在法兰与壳体的真空密封部位也敷设有冷却水道54，在拱形门体3的内侧也敷设有冷却水管55。