[实用新型]智能超高真空冷阴极电离规控制器

权利要求书

1．一种智能超高真空冷阴极电离规控制器，包括微处理器单元[4]和壳体，其特征在于还包括程控放电电流放大器[2]和高压电源[3]，程控放电电流放大器[2]与微处理器单元[4]相连接，高压电源[3]与程控放电电流放大器[2]相连接。

2．如权利要求1所述的控制器，其特征在于所说高压电源[3]内设置有逆程变压器。

3．如权利要求1所述的控制器，其特征在于所说微处理器单元[4]由模数转换器[5]、量程切换器[6]、微处理器[7]、键盘/显示器[8]、通讯接口[9]和报警器[10]构成，数模转换器[5]、量程切换器[6]、键盘/显示器[8]、通讯接口[9]和报警器[10]分别与微处理器[7]相连接。