[实用新型]用于软X射线波段的透射光栅光谱仪

权利要求书

1.一种用于软X射线波段的透射光栅光谱仪，含有机械构件和光学元件，机械构件包括前端与真空靶室(2)窗口法兰相联的接口法兰(301)、后端带衔接法兰(303)的衔接管(302)构成的头部(3)，头部(3)后边有由前衔接法兰(701)、筒体(702)、后衔接法兰(703)及真空泵衔接法兰(704)构成的外套筒(7)，外套筒(7)的前衔接法兰(701)与头部(3)的衔接法兰(303)相联，置于外套筒(7)内，固定于头部(3)的衔接法兰(303)上支撑板(401)上的斜拉加强筋(402)上有悬挂式导轨(4)，导轨主体(403)上置有调整架(5)、(6)；光学元件包括：沿着由真空靶室(2)内靶点的软X射线源(9)发射的软X射线束S前进的方向上，依次有矩形光阑12，置于调整架(5)上的轮胎镜的反射镜(13)，置于调整架(6)上的无支撑大面积透射光栅(14)；其特征在于置于头部(3)前端，位于真空靶室(2)内，有由前差分头(102)，置于前差分头(102)靠近真空靶室(2)内靶点的软X射线源(9)的前端面上止口Z内的差分孔片(101)，前差分头(102)的后端联有后差分头(103)，与后差分头(103)后端相联的后端面带有端面压板(105)的差分筒(104)所构成的差分泵浦部件(1)，差分泵浦部件(1)上的后差分头(103)上的端面压板(105)被压合密接在头部(3)的接口法兰(301)和真空靶室(2)窗口法兰之间，差分泵浦部件(1)的前面，靠近靶点的软X射线源(9)处置有狭缝(8)，狭缝(8)的中心恰好落在差分泵浦部件(1)与头部(3)同一中心轴线O₁O₁上。

2.根据权利要求1的透射光栅光谱仪，其特征在于差分泵浦部件(1)中，置于前差分头(102)靠近靶点的软X射线源(9)的前端面上止口Z内的差分孔片(101)上有偏心通孔φ，前差分头(102)的后端有外螺纹M₂与后差分头(103)前端的偏心内螺孔M₂′啮合联接，后差分头(103)的后端有外螺纹M₁与差分筒(104)前端的内螺孔M₁′啮合联接。

3.根据权利要求1的透射光栅光谱仪，其特征在于狭缝(8)是由陶瓷片，或玻璃片，或石英片所构成。